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激光干涉儀

激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。中文名激光干涉儀外文名laserinterferometer分類單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀1介紹激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

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    sj6000機床激光干涉測量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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  • 機床激光干涉測量校準(zhǔn)儀

    SJ6000機床激光干涉測量校準(zhǔn)儀具有高測量精度和重復(fù)性,可以實現(xiàn)非接觸式測量方式,不會對被測量物體造成損傷。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
  • 激光干涉儀測量雙直線導(dǎo)軌

    SJ6000激光干涉儀測量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
  • 激光干涉位移測量儀

    SJ6000激光干涉位移測量儀在動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
  • 導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀

    SJ6000導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
  • 高精度環(huán)境補償激光干涉儀

    SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。
  • 三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測

    SJ6000三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點??梢詸z測三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
  • 數(shù)控機床精度激光干涉檢測

    SJ6000數(shù)控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
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    SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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