μPhase® PLANO DOWN - 適用于平面樣品的緊湊型干涉儀
這些結(jié)構(gòu)緊湊、穩(wěn)定并具有成本效益的μPhase PLANO DOWN干涉儀適用于實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)中，憑借大量的花崗巖基座，它們不需要外部振動(dòng)控制，即使對(duì)于經(jīng)常變化的樣品類型，對(duì)準(zhǔn)亦可以輕松處理，樣品放置在儀器的底部，從頂部測(cè)量。 
主要特征
*檢測(cè)不同的平面光學(xué)零件；
*直觀簡(jiǎn)便的操作，即便是不熟練的員工也能操作；
*檢測(cè)范圍：可達(dá)150mm；
*占地面積??；
*無(wú)需隔振；
μShapeTM干涉儀軟件
| 每個(gè)版本的μPhase干涉儀都提供了一個(gè)應(yīng)用的μShape軟件版本，它應(yīng)用于測(cè)量平面、球面、圓柱面、復(fù)曲面和非球面或波陣面的面型，適用于生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室的研究，附加模塊可以使軟件適應(yīng)客戶特定的需求，即使購(gòu)買了μPhase系統(tǒng)，也可以隨時(shí)添加這些模塊。 該軟件控制和顯示測(cè)量結(jié)果，存儲(chǔ)和記錄測(cè)量原始數(shù)據(jù)，并確保透明度和可追溯性。 憑借其清晰的驅(qū)動(dòng)用戶界面，μShape滿足各種測(cè)量要求，并提供了幾個(gè)擴(kuò)展μShape功能的模塊。 |  μShaoe軟件 |
應(yīng)用
| *具有不同訪問(wèn)權(quán)限的不同用戶等級(jí)； *敏感問(wèn)題在線幫助； *輕松預(yù)設(shè)值的模板，用于大多數(shù)類型的測(cè)量任務(wù)和分析； *圖形窗口可以以多種圖形格式存儲(chǔ)（bmp，jpg...）； *將單個(gè)參數(shù)或選定數(shù)據(jù)字段導(dǎo)出為文本，二進(jìn)制或其他常用文件格式（例如：QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）以進(jìn)行外部處理。 *測(cè)量結(jié)果以二維或者三維的參數(shù)或圖形顯示為橫截面； *測(cè)量協(xié)議一目了然地顯示結(jié)果，并且可以進(jìn)行廣泛配置，包括客戶徽標(biāo)； *常用的程序功能的快捷方式； *各種程序模式允許使用集成的實(shí)時(shí)相機(jī)圖像單獨(dú)顯示校準(zhǔn)和測(cè)量過(guò)程及其參數(shù)； *使用μShape程序文件中的樣本數(shù)據(jù)存儲(chǔ)所有參數(shù)和設(shè)置，包括窗口大小和位置定期更換可持續(xù)改進(jìn)。 |  多個(gè)孔徑附加模塊 |
附加模塊
為了便于測(cè)量擴(kuò)展與進(jìn)一步分析。μShape軟件提供了多種擴(kuò)展模塊，如下所示：
*在球面或CGH設(shè)置中分析非球面；
*分析圓柱面或環(huán)面；
*外部通訊接口，允許外部程序控制干涉儀，如在自動(dòng)化系統(tǒng)中；
*可檢測(cè)玻璃板同質(zhì)性；
*可聚焦或不可聚焦元件與系統(tǒng)MTF的分析；
*可一次測(cè)量多個(gè)孔徑，如在拋光磨頭上；
*同時(shí)統(tǒng)計(jì)分析多個(gè)子孔徑；
*棱鏡和楔角的檢測(cè)與分析；
*考慮已知樣品偏差，例如光學(xué)設(shè)計(jì)偏差；
*軟件分析工具可彌補(bǔ)車床加工誤差；
*晶片分析；
*粗糙度與PSD分析；
*靜態(tài)條紋分析，用于不穩(wěn)定環(huán)境中的快速測(cè)量；
軟件附加項(xiàng)
Asphere分析模塊
非球面模塊在非球面設(shè)置中使用計(jì)算機(jī)生成的全息圖來(lái)分析旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的強(qiáng)非球面，在球面設(shè)置中分析弱非球面?？奢斎牒痛鎯?chǔ)非球面的數(shù)據(jù)，支持多種格式。非球面擬合能夠去除調(diào)整誤差和系統(tǒng)設(shè)置誤差。
Cylinder分析模塊
Cylinder模塊可在cylindrical設(shè)置中分析圓柱形樣品（使用CGH），圓柱型擬合能夠去除調(diào)整的誤差。
外部接口模塊
外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進(jìn)行通訊，如LabVIEW。
光纖連接模塊
光纖連接附件模塊根據(jù)國(guó)際IEC慣例提供PC型（物理接觸）光纖連接器端口分析，一次完成主要參數(shù)的測(cè)量并可選擇顯示“通過(guò)/未通過(guò)”結(jié)果。
同質(zhì)性模塊
在這一模塊中，兩個(gè)影響通過(guò)樣品光路的參數(shù)—同質(zhì)性（折射率變化）和厚度變化能夠被確定；
橫向拼接模塊
借助外部控制與分析程序μStitch，您的干涉儀可以子孔徑測(cè)量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起。獲得整體的表面面型，依需求可添加橫向定位系統(tǒng)。
數(shù)字模塊
在這個(gè)模塊中，不同的數(shù)據(jù)可通過(guò)數(shù)學(xué)計(jì)算分析生成的附加結(jié)果圖。暫不可進(jìn)行矩陣操作；
多孔分析模塊
該模塊能夠在一個(gè)視場(chǎng)范圍內(nèi)未連接的子孔徑進(jìn)行測(cè)量和分析，例如測(cè)量固定在拋光磨頭上的部分。
多重統(tǒng)計(jì)分析
當(dāng)樣品規(guī)格規(guī)定不同樣品子區(qū)域的不同限制時(shí)，MultiStat模塊可在一次測(cè)量中完成相關(guān)計(jì)算，并分列每個(gè)區(qū)域的結(jié)果。
棱鏡分析模塊
90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過(guò)分析角度偏差造成的干涉條紋圖樣測(cè)得。
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模塊
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)能夠考慮附加的樣品誤差，例如，與設(shè)計(jì)相關(guān)的標(biāo)注誤差參數(shù)。
工具補(bǔ)償模塊
應(yīng)用于μShape軟件的工具補(bǔ)償模塊能夠補(bǔ)償轉(zhuǎn)臺(tái)的準(zhǔn)直誤差。
晶片模塊
晶片分析允許將矩形區(qū)域內(nèi)尺寸的圖形孔徑進(jìn)一步分類，并通過(guò)算數(shù)平均值表征每個(gè)子區(qū)域。
Torus分析模塊
在Torus軟件的輔助上，附加環(huán)形樣品在toric或spherical設(shè)置中被分析，余下的調(diào)整誤差可通過(guò)環(huán)形擬合消除。
楔角分析模組
楔角分析模組使用待測(cè)樣品后的輔助鏡，可經(jīng)一次測(cè)量確定平面鏡與光學(xué)平板的楔角。
用戶定制模組
TRIOPTICS開發(fā)了軟件的干涉測(cè)量功能，并提供可定制測(cè)量程序，計(jì)算特定參數(shù)，依需求顯示和輸出數(shù)據(jù)。
您可以聯(lián)系我們滿足您的更多測(cè)量需求。
| | μPhase PLANO DOWN |
| 樣品類型 | 平面 |
| 樣品尺寸（測(cè)量范圍） | 可達(dá)φ150 mm |
| 樣品重量(MAX) | 5 kg |
| 校準(zhǔn)工具 | 手動(dòng) |
| 測(cè)試范圍半徑測(cè)量 | 不適用 |
升級(jí)和配件
μPhase 具有模塊化的系統(tǒng)，其應(yīng)用范圍可通過(guò)升級(jí)軟件與配件進(jìn)行拓展。下列配件與功能都可以額外購(gòu)買。
μPhase 500高分辨率
μPhase 500相機(jī)分辨率可被升級(jí)為1000 x 1000 像素。該功能可在購(gòu)買時(shí)或之后實(shí)現(xiàn)。
配件
多種測(cè)量鏡頭
μPhase 設(shè)備都具有卡口鏈接功能，可實(shí)現(xiàn)不同系統(tǒng)配套之間快速和簡(jiǎn)便的交換，使干涉儀的應(yīng)用范圍在購(gòu)買后仍可繼續(xù)擴(kuò)大。
平面、球面參考表面
各種直徑的無(wú)涂層表面或鏡面表面，以實(shí)現(xiàn)良好的對(duì)比度和測(cè)試目標(biāo)適應(yīng)性。
分析
不直接鏈接μPhase 硬件也可以進(jìn)行離線分析與文檔整理。
