μPhase^® VERTICAL -用于實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)和研究的靈活、緊湊型干涉儀

μPhase® VERTICAL是一臺(tái)功能比較齊全的干涉儀，具有模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)客戶(hù)要求進(jìn)行單獨(dú)配置。	干涉儀測(cè)量鏡片和表面和半徑

*系統(tǒng)靈活、可用于車(chē)間和實(shí)驗(yàn)室；

*立式機(jī)身，占地面積小；

*Z軸電動(dòng)導(dǎo)軌；

*傾斜及X/Y平移調(diào)整；

*適用于各種反射和投射測(cè)量；

*集成的自動(dòng)測(cè)量半徑；

*可選CGH，用于測(cè)量非球面、環(huán)面或圓柱表面測(cè)量；

μShape干涉儀軟件

每個(gè)μPhase干涉儀都提供了一個(gè)應(yīng)用的μShape軟件的版本，它用于測(cè)量平面、球面，圓柱面、復(fù)曲面和非球面或波陣面的形貌，適用于生產(chǎn)，實(shí)驗(yàn)室和研究。附加模塊可以使軟件使用客戶(hù)的需求，即使購(gòu)買(mǎi)了μPhase系統(tǒng)，也可以隨時(shí)添加這些模塊。 該軟件控制和顯示測(cè)量結(jié)果，存儲(chǔ)和記錄所有測(cè)量原始數(shù)據(jù)，并確保透明度和可追溯性。 憑借其清晰的驅(qū)動(dòng)用戶(hù)界面。μShape可以處理各種測(cè)量要求，并提供了幾個(gè)擴(kuò)展μShape功能的模塊。	μShape干涉儀軟件

*具有不同訪問(wèn)權(quán)限的不同用戶(hù)級(jí)別； *敏感問(wèn)題在線幫助； *輕松配置的模板，用于測(cè)量任務(wù)和分析； *圖形窗口可以以多種圖形格式存儲(chǔ)（bmp，jpg...）； *將單個(gè)參數(shù)或選定數(shù)據(jù)字段導(dǎo)出文本，二進(jìn)制或其他常用的文件格式（例如：QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）； *測(cè)量結(jié)果以二維或三維的參數(shù)貨圖形顯示為橫截面； *測(cè)量協(xié)議一目了然地顯示結(jié)果，并且可以進(jìn)行廣泛配置，包括客戶(hù)徽標(biāo)； *常用的程序功能的快捷方式； *各種程序模式允許使用集成的實(shí)時(shí)相機(jī)圖像單獨(dú)顯示校準(zhǔn)和測(cè)量過(guò)程及其參數(shù)； *使用μShape程序文件中的樣本數(shù)據(jù)存儲(chǔ)所有參數(shù)和設(shè)置，包括窗口大小和位置。 *定期更新可持續(xù)改進(jìn)，可根據(jù)要求體用軟件功能。

多個(gè)孔徑附加

為了便于測(cè)量擴(kuò)展與進(jìn)一步分析，μShape軟件提供了多種拓展模塊，如下所示：

*在球面或CGH設(shè)置中分析非球面；

*外部通訊接口，允許外部程序控制干涉儀，如在自動(dòng)化系統(tǒng)中。

*可檢測(cè)玻璃板的同質(zhì)性；

*可聚焦或不可聚焦元件與系統(tǒng)的MTF的分析；

*可一次測(cè)量多個(gè)孔徑，如在拋光磨頭上；

*同時(shí)統(tǒng)計(jì)分析多個(gè)子孔徑；

*棱鏡和楔角的檢測(cè)與分析；

*考慮已知樣品的偏差，例如光學(xué)設(shè)計(jì)的偏差；

*軟件分析工具可彌補(bǔ)車(chē)床加工的誤差；

*晶片分析；

*粗糙度與PSD分析；

*靜態(tài)條紋分析，用于不穩(wěn)定環(huán)境中進(jìn)行快速測(cè)量；

軟件附加項(xiàng)

Asphere分析模塊

非曲面模塊在非球面設(shè)置中使用計(jì)算機(jī)生成的全息圖（CGH）分許旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的非球面，在球面設(shè)置中分析非曲面，可輸入和存儲(chǔ)非曲面的數(shù)據(jù)，，支持多種格式，非球面擬合能夠除去調(diào)整誤差和系統(tǒng)設(shè)置誤差。

Cylinder分析模塊

Cylinder模塊可在cylindrical設(shè)置中分析圓柱形樣品（使用CGH），圓柱形擬合能夠除去調(diào)整誤差。

外部接口模塊

外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進(jìn)行通訊。如LabVIEW.

光纖連接模塊

光纖連接附加模塊根據(jù)國(guó)際IEC慣例提供PC型（物理接觸）光纖連接器端面分析，一次完成主要參數(shù)的測(cè)量并可選擇顯示“通過(guò)/未通過(guò)”結(jié)果。

同質(zhì)性模塊

在這一模塊中，兩個(gè)影響通過(guò)樣品光路的參數(shù)‘——同質(zhì)性（折射率變化）和厚度變化能夠被確定。

橫向拼接模塊

借助外部控制與分析程序，μStitch,您的干涉儀可以以子孔徑測(cè)量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起。

數(shù)字模塊

在這個(gè)模塊中，不同的數(shù)據(jù)可通過(guò)數(shù)字計(jì)算分析生成附加結(jié)果的效果圖，暫不可進(jìn)行矩陣操作；

多孔徑分析模塊

該模塊能夠在一個(gè)視場(chǎng)范圍內(nèi)對(duì)未連接的子孔徑進(jìn)行測(cè)量和分析，例如測(cè)量固定在拋光磨頭上的部分。

多重統(tǒng)計(jì)分析

當(dāng)樣品規(guī)格規(guī)定不同樣品子區(qū)域的不同限制時(shí)，MultStat模塊可在一次測(cè)量中完成相關(guān)的計(jì)算，并分列出每個(gè)區(qū)域的結(jié)果。

棱鏡分析模塊

90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過(guò)分析角度偏差造成的干涉條紋圖樣測(cè)量。

樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模塊

樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)能夠在考慮附加的樣品誤差，例如，與設(shè)計(jì)相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)誤差參數(shù)。

工具補(bǔ)償模塊

應(yīng)用于μShape軟件的工具補(bǔ)償模塊能夠補(bǔ)償轉(zhuǎn)臺(tái)的準(zhǔn)直誤差。

晶片模塊

晶片分析允許將矩形區(qū)域的尺寸的圖形孔徑進(jìn)一步分類(lèi)，并通過(guò)算數(shù)平均值表征每個(gè)子區(qū)域。

Torus分析模塊

在Torus軟件的輔助下，附加環(huán)形樣品在toric或spherical設(shè)置中被分析，，余下的調(diào)整誤差可通過(guò)環(huán)形擬合消除，適合檢測(cè)隱形眼鏡和晶片的模型。

楔形分析模組

楔形分析模組使用待測(cè)樣品后的輔助鏡，可經(jīng)一次測(cè)量確定平面鏡與光學(xué)平板的楔角。

用戶(hù)定制模組

TRIOPTICS開(kāi)發(fā)了軟件的干涉測(cè)量功能，并提供可定制的測(cè)量程序，計(jì)算特定參數(shù)，依需求顯示和輸出數(shù)據(jù)，您可以了聯(lián)系我們滿(mǎn)足您的更多測(cè)量需求。

升級(jí)與配件

μPhase具有模塊化的系統(tǒng)，其應(yīng)用范圍可通過(guò)升級(jí)軟件與配件進(jìn)行拓展，下列配件與功能都可以額外購(gòu)買(mǎi)。

μPhase 500高分辨率

μPhase 500相機(jī)分辨率可被升級(jí)為1000 x 1000像素，該功能在購(gòu)買(mǎi)時(shí)或之后實(shí)現(xiàn)。

配件

多種測(cè)量鏡頭

所有μPhase設(shè)備都具有卡口連接功能，可實(shí)現(xiàn)不同的系統(tǒng)配置之間快速和簡(jiǎn)便的交換，使干涉儀的應(yīng)用范圍在購(gòu)買(mǎi)后仍可繼續(xù)擴(kuò)大。

平面、球面參考表面

各種直徑的無(wú)涂層表面或鏡面表面，以實(shí)現(xiàn)對(duì)比度和測(cè)試目標(biāo)適應(yīng)性。

分析

不直接連接μPhase硬件也可以離線分析與文檔整理、