μPhase® 500/ 100 - 靈活的干涉儀傳感器
| 這些高度集成的移相Twyman- Green干涉儀傳感器滿足了現(xiàn)代質(zhì)量管理的要求。結(jié)合μShape測量和分析軟件，這些高性能精密測角儀提供了有關(guān)樣品表面偏差或抱歉像差的信息。 |  μPhase有不同的波長 |
應(yīng)用
| *快速和非破壞性的單次測量； *高分辨率的相機(jī)； *輕松適應(yīng)不同的樣品反射率（μPhase®1000）； *能夠?qū)Ｗ⒂跇悠繁砻妫é蘌hase®1000）； *用于校準(zhǔn)的第二臺相機(jī)； *模塊化、結(jié)構(gòu)緊湊； *堅固、耐用的防塵外殼； *標(biāo)準(zhǔn)檢測波長632.8 nm； *可定制波長范圍： 355 nm - 1064； *生產(chǎn)線與實驗室兼容； |  μPhase集成到車床中 |
μShapeTM干涉儀軟件
每臺μPhase®干涉儀都提供了一個應(yīng)用的μShape軟件版本，它用于測量平面、球面、圓柱面、復(fù)曲面和非球面或波陣面的形貌，適用于μPhase®系統(tǒng)，也可以隨時添加這些模塊。 該軟件控制和顯示測量結(jié)果，存儲和記錄所有測量原始數(shù)據(jù)，并確保透明度和可追溯性。 憑借其清晰的驅(qū)動用戶界面，μShape滿足各種測量要求，并提供了幾個擴(kuò)展giant設(shè)備功能的模塊。
優(yōu)點 
*具有不同訪問權(quán)限的不同用戶級別； *敏感問題在線幫助 *輕松預(yù)設(shè)值所有測量和分析四任務(wù)； *圓形窗口可以以多種圖形格式存儲（bmp，jpg...）; *將單個參數(shù)貨選定數(shù)據(jù)字段導(dǎo)出文本，二進(jìn)制貨其他常用文件格式（例如QED，Zygo,XYZ，DigitalSurf）已進(jìn)行外部處理； *測量結(jié)果以二維或三維的參數(shù)或圖形顯示為橫截面； *測量協(xié)議一目了然的顯示結(jié)果，并且可以進(jìn)行廣泛配置，包括客戶自定義配置； *常用的程序功能的快捷方式； *各種程序模式允許使用集成的實時相機(jī)圖像并單獨顯示校準(zhǔn)和測量過程及其參數(shù)； *使用μShape程序文件中的樣本數(shù)據(jù)存儲參數(shù)和設(shè)置，包括窗口大小和位置； *定期更新可持續(xù)改進(jìn)，可根據(jù)要求提供或以軟件統(tǒng)一提供。
附加模塊
為了便于測量擴(kuò)展與進(jìn)一步分析。μShape軟件提供了多種拓展模塊，如下所示：
*在球面或CGH設(shè)置中分析非球面；
*分析圓柱面或環(huán)面；
*外部通訊接口，允許外部程序控制干涉儀，如在自動化系統(tǒng)中；
*可檢測玻璃板同質(zhì)性；
*可聚焦或不同聚焦元件與系統(tǒng)的MTF分析；
*可一次測量多個孔徑，如在拋光面上；
*同時統(tǒng)計分析多個孔徑；
*棱鏡和楔角的檢測與分析；
*考慮已知樣品偏差，例如光學(xué)設(shè)計的偏差；
*軟件分析工具可彌補(bǔ)車床加工的誤差；
*晶片分析；
*粗糙度與PSD分析；
*靜態(tài)條紋分析，用于不穩(wěn)定環(huán)境中進(jìn)行快速測量；
軟件附加項
Asphere分析模塊
非球面模塊在非球面設(shè)置中使用計算機(jī)生成的全息圖來分析旋轉(zhuǎn)對稱的強(qiáng)非球面，在球面設(shè)置中分析弱非球面?？奢斎牒痛鎯Ψ乔蛎鏀?shù)據(jù)，支持多種格式，非球面擬合能夠去除調(diào)整誤差和系統(tǒng)設(shè)置誤差。
Cylinder分析模塊
Cylinder模塊可在cylinrical設(shè)置中分析圓柱樣品，圓柱型擬合能夠去除誤差。
外部接口模塊
外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進(jìn)行通訊，如LabVIEW。
光纖連接模塊
光纖連接附加模塊根據(jù)國際IEC慣例提供PC型光纖連接器端面分析，一次完成主要參數(shù)的測量并可選擇顯示“通過/不通過”結(jié)果。
同質(zhì)性模塊
在這一模塊中，兩個影響通過樣品的光路的參數(shù)——同質(zhì)性（折射率變化）和厚度變化能夠被確定。
橫向拼接模塊
借助外部控制與分析程序μStitch，您的干涉儀可以在子孔徑測量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起，獲得整體表面面型。依需求可添加橫向定位系統(tǒng)。
數(shù)學(xué)模塊
在這個模塊中，不同的數(shù)據(jù)圖可以通過數(shù)學(xué)計算分析生成附加結(jié)果圖，暫不可進(jìn)行矩陣操作。
多孔分析模塊
該模塊能夠在一個視場范圍內(nèi)對未連接的子孔徑進(jìn)行測量和分析，例如測量固定在拋光面上的部分。
多重統(tǒng)計分析
當(dāng)樣品規(guī)格規(guī)定不同樣品子區(qū)域的不同限制時，MultiStat模塊可在一次測量中完成相關(guān)計算，并列出每個區(qū)域的結(jié)果。
棱鏡分析模塊
90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過分析角度偏差造成的干涉條紋圖樣測得。
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模塊
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)能夠考慮附加的樣品誤差，例如，與設(shè)計相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)誤差參數(shù)。
工具補(bǔ)償模塊
應(yīng)用于μShape軟件的工具補(bǔ)償模塊能夠補(bǔ)償轉(zhuǎn)臺的準(zhǔn)直誤差。
晶片模塊
晶片分析允許將矩陣區(qū)域內(nèi)尺寸的圓形孔徑進(jìn)一步分類，并通過計算平均值表征每個子區(qū)域。
Torus分析模塊
在Torus軟件的輔助下，附加環(huán)形樣品在toric或spherical設(shè)置中被分析，余下的調(diào)整誤差可通過環(huán)形擬合消除。
楔形分析模組
楔形分析模組使用待測樣品后的輔助鏡，可經(jīng)一次測量確定平面鏡與光學(xué)平板的楔角。
用戶定制模組
TRIOPTICS開發(fā)了軟件的干涉儀測量功能，并提供可定制的測量程序，計算特定的參數(shù)，依需求顯示和輸出數(shù)據(jù)。您可聯(lián)系我們滿足您的更多測量需求。
| 測量頭 | 單位 | μPhase 500 | μPhase 1000(TG) | μPhase 1000（FIZ） |
| 相機(jī)分辨率 | pixels | 512 x 512 | 1024 x 1020 | 1024 x 1020 |
| 反射設(shè)置 | | 固定設(shè)置 | 0.5%，0.1%，4%，80% | 0.0%，1%，4%，80% |
| 測量波長 | nm | 632.8 | 632.8（其他依需求） | 632.8（其他依需求） |
| 調(diào)焦 | | 不可調(diào) | 可調(diào) | 可調(diào) |
| 尺寸 | mm | 121 x 97 x 56 | 121 x 97 x 56 | 121 x 97 x 56 |
| 重量 | kg | 1 | 1 | 1 |
升級與配件
μPhase具有模塊化的系統(tǒng)。其應(yīng)用范圍可通過升級軟件與配件進(jìn)行拓展，下列配件與功能都可以額外購買。
μPhase 500高分辨率
μPhase 500相機(jī)分辨率可被升級為1000 x 1000像素。該功能可在購買時或之后實現(xiàn)。
配件
多種測量配件
μPhase設(shè)備都具有卡口連接功能，可實現(xiàn)不同系統(tǒng)配置之間的快速和簡便的交換，使干涉儀的應(yīng)用范圍在購買后仍可繼續(xù)擴(kuò)大。
平面、球面參考表面
各種直徑的無涂層表面或鏡面表面，以實現(xiàn)良好的對比度和測試目標(biāo)適應(yīng)性。
分析
不直接鏈接μPhaes 硬件也可以進(jìn)行離線分析和文件整理。
