PG15-J型激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計量儀器，主要用于精密測量光學(xué)平面度。儀器配有激光光源（波長為6328A）。對于干涉條紋可目視、測量讀數(shù)、照相留存記錄。工作時對防震要求一般。該儀器可應(yīng)用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室、計量室。如配購相關(guān)的必要附件，可精密測量光學(xué)平板的微小楔角、光學(xué)材料折射率n的均勻性，光學(xué)鍍膜面或金屬塊規(guī)表面的平面度，90o棱角的直角誤差及角錐棱鏡單角和綜合誤差。
主要技術(shù)參數(shù)
1、*標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），不鍍膜。 工作直徑：D1=Φ146mm
不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），不鍍膜。 工作直徑：D2=Φ140mm
不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、準(zhǔn)直系統(tǒng)：孔徑F/2.8， 工作直徑：D1=Φ146mm
焦距：f=400mm.
4、測微目鏡：焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X，視場角2w=40o
成像物鏡：I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10
f=16 f=23 f=37
5、干涉室尺寸：深260寬300190mm。
6、光源規(guī)格：激光ZN18（He-Ne）。
7、儀器的外形尺寸：長寬高 350400720mm。
8、儀器重量：100公斤。