XL-80激光干涉儀的技術(shù)特點(diǎn)有哪些
2021-01-11標(biāo)簽:激光干涉儀
Renishaw的新型XL-80激光干涉儀能夠滿足和超越實(shí)際工業(yè)規(guī)范水平,提供4m/szei大的測(cè)量速度和50kHz記錄速率。即使在zei高的數(shù)據(jù)記錄速率下,系統(tǒng)準(zhǔn)確性可達(dá)到±0.5ppm(線性模式)和1納米的分辨率,這些改進(jìn)意味著工程師仍能使用可溯源性激光干涉的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),幫助解決現(xiàn)代化機(jī)器設(shè)計(jì)問(wèn)題。
系統(tǒng)精度比原有的對(duì)應(yīng)產(chǎn)品ML10激光系統(tǒng)有所提升,在整個(gè)日常溫度、氣壓和濕度不同工作環(huán)境下,均可達(dá)到±0.5ppm的精度。環(huán)境讀數(shù)使用XC-80智能傳感系統(tǒng)進(jìn)行讀取,每7秒更新一次激光讀數(shù)補(bǔ)償值。還有一點(diǎn)很重要,與Renishaw的ML10系統(tǒng)一樣,所有測(cè)量值均采用穩(wěn)定化的氦氖激光源的波長(zhǎng)為單位,保證能夠溯源至國(guó)際公認(rèn)的長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)。此新系統(tǒng)可以與現(xiàn)有的ML10系統(tǒng)光學(xué)鏡組完全兼容,使目前全球成千上萬(wàn)的ML10用戶能夠升級(jí)到新系統(tǒng),并同時(shí)保留其在光學(xué)鏡組、程序和人員培訓(xùn)上的原有投資。
我們還提供已更新的Renishaw軟件版本(LaserXL?及QuickViewXL?),能夠以用戶熟悉的、易于使用的格式提供數(shù)據(jù)。LaserXL?能夠執(zhí)行循序漸進(jìn)式的測(cè)量,以方便對(duì)大多數(shù)機(jī)床按標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn),QuickViewXL?軟件能夠在屏幕上實(shí)時(shí)地顯示激光讀數(shù)。您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光裝置和XC-80補(bǔ)償器,就會(huì)注意到它們比原有的ML10和EC10小了許多。
現(xiàn)在,二者總重僅3公斤多一點(diǎn)(包括連接電纜、電源和傳感器),比原來(lái)減輕了70%。當(dāng)然,隨著激光頭和補(bǔ)償器尺寸減小,其他系統(tǒng)組件,例如三腳架和云臺(tái)也相應(yīng)地減小以便相配,因此整個(gè)系統(tǒng)(除了三腳架)的裝運(yùn)箱減小了許多?,F(xiàn)在,zei小的“腳輪箱”只有原來(lái)箱子的一半大一點(diǎn)點(diǎn),卻可以攜帶整個(gè)線性和角度測(cè)量系統(tǒng),并有放置RenishawQC10球桿儀組件的位置。這個(gè)高度便攜的“檢查和修正”系統(tǒng)總重不到15公斤,同類(lèi)產(chǎn)品無(wú)以匹敵。
為了與激光干涉儀系統(tǒng)的其他組件的便攜性相匹配,我們?cè)O(shè)計(jì)了新型三腳架和裝運(yùn)箱,僅重6.2公斤。激光頭和云臺(tái)體積很小,能夠方便地固定在標(biāo)準(zhǔn)磁性座上,可以在不方便使用三腳架固定的應(yīng)用條件下使用。XL-80激光測(cè)量系統(tǒng)的光束高度和光學(xué)鏡組尺寸與ML10系統(tǒng)一樣,因此也可以直接放在花崗巖工作臺(tái)(不使用三腳架云臺(tái))上,進(jìn)行坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的校準(zhǔn)。Renishaw已將激光的預(yù)熱時(shí)間縮短至大約僅6分鐘。預(yù)熱速度較同類(lèi)系統(tǒng)快,因此用戶等待時(shí)間減少了,用于測(cè)量工作的幾率增加了,這對(duì)于機(jī)器校準(zhǔn)服務(wù)商和那些需要在一個(gè)地點(diǎn)執(zhí)行多項(xiàng)測(cè)量的用戶而言非常重要。
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SJ6000導(dǎo)軌誤差激光干涉測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。
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SJ6000三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)??梢詸z測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
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SJ6000數(shù)控機(jī)床精度激光干涉檢測(cè)儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
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SJ6000激光干涉儀精密測(cè)量及校準(zhǔn)系統(tǒng)利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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國(guó)產(chǎn)激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)
SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。 -
SJ6000導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度激光干涉診斷校準(zhǔn)儀利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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SJ6000激光切割機(jī)精度激光干涉校準(zhǔn)儀線性測(cè)長(zhǎng)精度0.5ppm,激光穩(wěn)頻精度:0.05ppm,在數(shù)控機(jī)床、激光切割機(jī)等行業(yè)廣泛應(yīng)用。
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SJ6000設(shè)備直線度激光干涉測(cè)量?jī)x利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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中圖儀器SJ6000機(jī)床精度激光干涉測(cè)量?jī)x集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。