隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展，電子顯微鏡進(jìn)入了一個(gè)不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量，而且重視其采集過程的時(shí)代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場(chǎng)成像技術(shù)，同時(shí)還大大提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。
*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。
特點(diǎn)
超高分辨成像
日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下，也可獲得超高分辨的圖像。
0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實(shí)例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像，顆粒表面細(xì)微的臺(tái)階結(jié)構(gòu)清晰可見。低電壓觀察對(duì)于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。
樣品提供：日本工業(yè)技術(shù)綜合研究所 上村 佳大 先生
高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號(hào)能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
3D NAND截面觀察（加速電壓：1.5kV）
快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測(cè)器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測(cè)器，即使掃描時(shí)間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.
5納米制程SRAM的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察 （加速電壓：30kV，掃描時(shí)間<1秒）
的自動(dòng)化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等。用戶可以通過簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后，該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存，實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測(cè)與采集。
1,2,4 或6通道信號(hào)可在同一個(gè)顯示器上同時(shí)顯示，可切換內(nèi)容包括SEM各探測(cè)器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)。可以通過使用兩個(gè)顯示器來擴(kuò)展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。
規(guī)格
| 機(jī)型 | SU8600 系列 | |
|---|---|---|
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| 放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
| 電子槍 | 冷場(chǎng)發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽極烘烤系統(tǒng)。 | |
| 加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
| 著陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
| 探測(cè)器 | （部分為選配項(xiàng)） | 上探測(cè)器(UD) |
| UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號(hào)混合功能 | ||
| 下探測(cè)器(LD) | ||
| 頂探測(cè)器(TD) | ||
| TD能量過濾器 | ||
| 鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器(IMD) | ||
| 半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器 (PD-BSED) | ||
| 新型閃爍體式背散射電子探測(cè)器(OCD) | ||
| 陰極熒光探測(cè)器(CLD) | ||
| 掃描透射探測(cè)器(STEM Detector) | ||
| 附件 | （部分為選配項(xiàng)） | 導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測(cè)器(EBSD) |
| 軟件 | （部分為選配項(xiàng)） | EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素） |
| 樣品臺(tái) | 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)（X/Y/R/Z/T） |
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| 樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑：150 mm |
*減速模式下
