“的SEM更為緊湊”
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計,仍具備4.0 nm的圖像分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能。
特點
FlexSEM 1000 II,憑借全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測器,可在加速電壓20 kV下實現(xiàn)4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面,具有亮度和對焦自動調(diào)節(jié)功能,可以在短時間內(nèi)進行各種觀察。此外,還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP”,這個功能可彌補電子顯微鏡上難以找準視野的缺點,實現(xiàn)最直觀的視野移動。
- 盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡,仍可實現(xiàn)4.0 nm的分辨率
- 憑借的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器(UVD*2),可在低加速/低真空下觀察時實現(xiàn)的質(zhì)
- 全新的用戶界面,無論用戶的熟練程度如何,都可實現(xiàn)高畫質(zhì)和高處理能力
- 全新的定位功能“SEM MAP”,支持觀察時的視野搜索和樣品定位
*1設(shè)置到桌面上時,請將機體與電源盒分離
*2選項
小型高性能色譜柱
尺寸雖小,卻具備同類產(chǎn)品中的分辨率。
金顆粒沉積
加速電壓:20 kV
倍率:60,000倍
信號:SE
分辨率:4 nm
金顆粒沉積
加速電壓:20 kV
倍率:50,000倍
信號:BSE
分辨率:5 nm
高畫質(zhì)
配備可優(yōu)化放射電流的功能,以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度,而獲得噪點小且清晰的圖像。
儲氫合金
加速電壓:5 kV
倍率:30,000倍
信號:SE、無金屬涂層
Al-Ni復(fù)合材料
加速電壓:3 kV
倍率:10,000倍
信號:BSE、無金屬涂層
可用高畫質(zhì)和快速觀察
搭載GUI和自動調(diào)節(jié)功能,讓初學(xué)者也能得心應(yīng)手。只要按一下自動對焦(AFC)、自動亮度調(diào)節(jié)(ABCC)按鈕,就可以獲得的圖像。(自動調(diào)節(jié):與以往相比,縮短時間約13秒*3)當(dāng)然,也可以通過觸屏進行操作。
*3 對比日立SEM SU1510
全新定位系統(tǒng)“SEM MAP”
“SEM MAP”功能可有效實現(xiàn)觀察時的視野搜索和樣品定位。根據(jù)內(nèi)置攝像頭所拍攝的圖像,定位樣品,一鍵點擊即可移動到觀察部位。
在SEM MAP上導(dǎo)入的圖像會自動進行粘貼,并以分布圖的形式顯示。
可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡
寬幅僅為45厘米,緊湊型設(shè)計,地減小占用空間。機體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外,機體和電源盒可以分離,從而大幅度提升諸如桌面設(shè)置等的布局靈活性。
規(guī)格
項目 | 內(nèi)容 |
---|---|
分辨率*3 | 4.0 nm(二次電子像、加速電壓:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次電子像、加速電壓:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射電子像、加速電壓:20 kV、低真空模式) |
加速電壓 | 0.3 kV~20 kV |
倍率 | ×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (顯示器顯示倍率) |
低真空設(shè)置 | 6~100 Pa |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲電子槍 |
樣品臺 | 3軸馬達驅(qū)動樣品臺 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° 可觀察范圍:直徑64mm(R聯(lián)用)*4 |
樣品尺寸 | 直徑80 mm(選配:直徑153mm) |
樣品高度 | 40 mm |
尺寸 | 機體:450(寬度)×640(進深)×690(高度) mm 電源盒:450(寬度)×640(進深)×450(高度) mm |
選項 |
|
軟件 | Multi Zigzag(連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能) |
*PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準備
*3機體和電源盒連接時候
*4使用標(biāo)準支架時
觀察示例
半導(dǎo)體
焊線
材料
二硫化鎢
FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統(tǒng),可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而,在低加速電壓下也能實現(xiàn)同類產(chǎn)品中的圖像清晰度(S/N)。
水泥
黃銅礦
生物
蝴蝶翅膀斷面
花粉
視頻
寬度僅為45厘米的緊湊型電子顯微鏡,仍具備4.0 nm的圖像分辨率!
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能
三維測量軟件
Hitachi map 3D(選項)
利用SEM上4分割背散射電子檢測器所獲得的信號,可計算4個方向的表面形狀,從而無需進行樣品傾斜和視野對位,即可構(gòu)建三維模型。
Hitachi map 3D支持多個國家的語言,具備用于調(diào)節(jié)樣品位置的各種校正功能、以及可追溯測量過程的測量系統(tǒng)、符合ISO標(biāo)準的表面粗糙度(面粗糙度、線粗糙度)的測定、此外還包括表面積、體積等其他測量功能以及報告輸出等功能。