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蔡司熱場發(fā)射掃描電鏡SIGMA 500采用了GEMINI電子束無交叉光路設計,打破了傳統(tǒng)設計中電子束交叉三次發(fā)生能量擴散的局限性,束流大小適中,極大地降低色差對圖像質量的影響;鏡筒內(nèi)置電子束加速器,無需切換減速模式就可實現(xiàn)高質量低電壓成像,低20V可成像,且對樣品類型無限制;鏡筒物鏡采用靜電透鏡加電磁透鏡組合,工作距離范圍內(nèi)沒有磁場,能在高倍率下觀察磁性材料;鏡筒內(nèi)正光路安裝的環(huán)形二次電子探測器In-Lens;圓柱形一體化超大樣品室,配有5軸全自動優(yōu)中心樣品臺,能裝直徑250mm的超大樣品;可將同一品牌的電鏡與光鏡聯(lián)合觀察(選配),只需一個通用樣品夾和關聯(lián)軟件為Shuttle & Find,可以充分發(fā)揮光鏡及電鏡的各自優(yōu)勢。
產(chǎn)品參數(shù)
(1)電子源:GEMINI鏡筒,高穩(wěn)定性Schottky熱場發(fā)射電子槍。
(2)物鏡系統(tǒng):電磁/靜電式物鏡系統(tǒng),電子束無交叉光路設計。
(3)高真空SE分辨率:0.8nm@15kv, 1.4nm@1kv
(4)加速電壓:20V~30 kV,以10 V步進連續(xù)可調(diào),無需切換減速模式。
(5)探針電流:4pA-20 nA,束流穩(wěn)定性優(yōu)于 0.2 %/h。
(6)放大倍率范圍:10×~1,000,000×(照片放大倍率)。高倍率與低倍率連續(xù)可調(diào),無需任何模式轉換。
(7)探測器系統(tǒng):樣品室內(nèi)二次電子探測器1個;鏡筒內(nèi)正光軸環(huán)形高效二次電子In-lens探測器1個;
樣品室內(nèi)HDBSD高分辨背散射電子探測器1個;紅外CCD樣品室觀察系統(tǒng)1個。
(8)樣品室形狀及尺寸:樣品室是由整塊鋼件掏空制成的為圓柱形、厚壁、整體結構樣品室,抗磁,防震,抗噪聲效果好。
樣品室直徑或寬度要求不小于350mm,高度或深度不低于250mm;
(9)樣品臺類型:5軸馬達樣品臺,抽屜式安裝,采用雙操縱桿控制盒控制。移動范圍:X>125mm;Y >125mm;Z >40 mm;T≥-4o~+70o;R=360o。
(10)能譜儀工作條件:工作距離8.5 mm,X射線出射角35°。
(11)物鏡光闌:7孔光闌,*的電磁式自動選擇與電子束對中。
(12)X射線能譜儀(牛津)
探測器:分析型SDD硅漂移電制冷探測器,晶體面積30mm2。超薄窗設計, 無需液氮冷卻,僅消耗電能。
能量分辨率:MnKa保證優(yōu)于127eV, 元素分析范圍: Be4~Cf98。
圓形對稱芯片,獨立封裝FET場效應管,避免X射線轟擊。
譜峰穩(wěn)定性:1,000cps到100,000cps,MnKa峰譜峰漂移小于1eV,分辨率變化小于1eV, 48小時內(nèi)峰位漂移小于1.5eV。
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