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蔡司掃描電鏡是我國金屬科研工作之中應(yīng)用廣泛的“神器”。可以說，幾乎每個研究生都度過了自己最重要的科研經(jīng)歷。今天，友碩為需要應(yīng)用掃描電子顯微鏡的新老同學(xué)和科技工作者介紹掃描電子顯微鏡的原理和應(yīng)用。

蔡司電鏡使用電子束成像，類似于光學(xué)顯微鏡使用可見光成像。因為電子的波長比光的波長小得多，所以電子顯微鏡的分辨率比光學(xué)顯微鏡高。

蔡司掃描電子顯微鏡，簡稱SEM，已成為材料表征的強(qiáng)有力的多功能工具，在材料、冶金、礦產(chǎn)、生物等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

掃描電鏡的主要組成部分有：電子光學(xué)系統(tǒng)、信號采集與處理系統(tǒng)、圖像顯示與記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電源及控制系統(tǒng)等。

是用精細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過電子與樣品的相互作用產(chǎn)生二次電子和背散射電子用以觀察和分析樣品的表面或斷口形貌。

在掃描電鏡之中，電子束以網(wǎng)格模式掃描樣品。首先，電子槍在槍管底部產(chǎn)生電子。當(dāng)電子的熱能超過源材料的功函數(shù)時，電子被釋放出來，并以高速向帶正電荷的陽極加速。整個電子柱必須處于真空狀態(tài)。

像電子顯微鏡的所有組件一樣，電子槍被密封在一個特殊的真空室之中，以防止污染、震動和噪音。除了保護(hù)電子槍不受污染之外，真空環(huán)境還有利于獲得高分辨率圖像。

如果不是真空環(huán)境，柱之中可能有其他原子和分子與電子相互作用，使電子束偏轉(zhuǎn)，降低圖像質(zhì)量。高真空環(huán)境也提高了柱內(nèi)探測器對電子的收集效率。