臺(tái)式掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下，中圖儀器CEM3000大樣品倉型臺(tái)式掃描電鏡拓展了樣品倉尺寸，從而可對(duì)大尺寸樣品或多個(gè)常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。
不同于立式電鏡，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)高性能。
產(chǎn)品功能
1）臺(tái)式電鏡緊湊的外型，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機(jī)，一臺(tái)機(jī)器多處開花；
2）高分辨率，能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，該系列臺(tái)式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片；
5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí)，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術(shù)，基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度，進(jìn)而對(duì)不同類型的樣品進(jìn)行觀測；
8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；
9）搭配有多種探頭，能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
CEM3000大樣品倉型臺(tái)式掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強(qiáng)，整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì)，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí)，該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測，具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時(shí)接收多種信號(hào)，對(duì)樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例：
CEM3000 在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，通過加裝各類探頭和附件，能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
性能特色
1、緊湊外型
該系列臺(tái)式掃描電鏡整機(jī)經(jīng)過深入優(yōu)化，在結(jié)構(gòu)方面達(dá)到了優(yōu)尺寸利用率，確保其出色的性能不再受環(huán)境尺寸的制約，無論是日常的工作桌面、還是狹小空間，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡總能陪伴用戶出現(xiàn)在有需要的地方。
2、自動(dòng)調(diào)節(jié)
用戶可借助自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
3、高分辨率
CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學(xué)系統(tǒng)，優(yōu)于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。
4、高抗振防磁性能
該系列臺(tái)式電鏡采用特殊設(shè)計(jì)的隔振措施，能夠減小環(huán)境中振動(dòng)對(duì)電鏡的干擾，并且全系列電鏡具有強(qiáng)抗電磁干擾性能，消除場地因素對(duì)電鏡的影響。
其中CEM3000B更是采用本公司設(shè)計(jì)的高性能復(fù)合抗振系統(tǒng)來消除外界振動(dòng)對(duì)電鏡的影響，即使是在高放大倍數(shù)下成像，用戶也不用擔(dān)心環(huán)境振動(dòng)對(duì)電鏡產(chǎn)生的干擾。
5、選配低真空系統(tǒng)
根據(jù)用戶需求，可選配低真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)讓用戶可以任意設(shè)定電鏡工作時(shí)的倉內(nèi)真空度(倉內(nèi)真空度低可達(dá)100Pa)，以滿足不同類型樣品的觀測需求。
6、操縱手柄
操作手柄上集成了多個(gè)方向位移控制，自動(dòng)調(diào)整及自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)消像散等功能，可快速完成觀測位置調(diào)整及自動(dòng)成像。
7、豐富的定制功能
根據(jù)特定行業(yè)的需求，定制了自動(dòng)化的顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測量等選配功能。
可根據(jù)用戶需求提供全自動(dòng)軟件定制服務(wù)。
8、高精度樣品臺(tái)
該系列臺(tái)式電鏡采用全新設(shè)計(jì)的樣品臺(tái)，各自動(dòng)軸均保證了動(dòng)作精度和高重復(fù)性。
9、高襯度成像系統(tǒng)
采集系統(tǒng)具有高信噪比，使用戶在快速掃描時(shí)也能獲取到充足的信號(hào)。即使針對(duì)微弱信號(hào)，CEM3000系列臺(tái)式電鏡搭載的處理算法亦可將信號(hào)從背底中進(jìn)行高效剝離，確保成像質(zhì)量。
部分技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配：自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配：顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X，Y，T |
手動(dòng)軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) | Windows10 (64bit) | |
圖片尺寸 | 640×480 | |
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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