特殊的腔體設計和工藝設計,可以使得ALD技術應用于工業(yè)量產(chǎn),并且可以提高鍍膜效率。矽碁可根據(jù)用戶的需求定制設備。
技術參數(shù):
1 不銹鋼腔體,雙層加熱設計;
2 等離子體增強模塊集成于腔體上蓋;
3 進口高速ALD隔膜閥;
4 基片尺寸可以定制;
5 基片加熱400℃;
6 最多可提供6路前驅物和6路工藝氣體;
7 氣路全金屬密封,并可加熱至120℃;
8 可提供前驅體鋼瓶加熱或冷卻;
9 可全自動控制工藝過程,同時也可以手動操作。
10 量產(chǎn)型設計,可以全自動化
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