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R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng)

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面議
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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-08-11
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值541
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專(zhuān)注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷(xiāo)售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線(xiàn)及晶圓FAB廠(chǎng)提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專(zhuān)業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專(zhuān)業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶(hù)的科研方向和量產(chǎn)的器件類(lèi)別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
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PICOSUN® R-200 標(biāo)準(zhǔn) ALD 系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā),例如 IC 組件、MEMS 設(shè)備、顯示器、LED、激光器和 3D 對(duì)象,例如透鏡、光學(xué)器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物。
R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

標(biāo)準(zhǔn)基板尺寸與類(lèi)型

50 mm - 200 mm 單晶片

156 mm × 156 mm 太陽(yáng)能硅晶片

3D 對(duì)象

粉末和顆粒

小批量

多孔、通孔和高縱橫比(高達(dá) 1:2500)


工藝溫度

50℃ - 500℃


標(biāo)準(zhǔn)工藝

Al2O3、TiO2、SiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO、ZrO2、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金屬


基板裝載

使用氣動(dòng)升降機(jī)手動(dòng)裝載

帶磁性機(jī)械臂的負(fù)載鎖


前驅(qū)體

液體、固體、氣體、臭氧

多達(dá) 6 個(gè)源、帶 4 個(gè)獨(dú)立入口


其他選項(xiàng)

Picoflow™ 擴(kuò)散增強(qiáng)劑、RGA、N2 發(fā)生器、氣體洗滌器、定制設(shè)計(jì)、惰性裝載手套箱兼容性

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