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SAL-1000 SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...

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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號SAL-1000
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-01
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量54
  • 人氣值1364
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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司由瑞典Hot Disk有限公司,英國THT有限公司共同注資成立的。公司開發(fā)、制造并銷售導熱系數(shù)分析儀、反應量熱儀等世界*的*分析儀器,同時是以色列Nanonics原子力顯微鏡AFM/掃描探針電鏡SPM以及AFM+Raman+IR+SEM/SPM一體連用測試技術(shù)。公司在范圍內(nèi)擁有眾多系統(tǒng)用戶,并在英國、美國、德國、日本等二十個國家和地區(qū)設立了分支機構(gòu)。

瑞典Hot Disk公司主要開發(fā)、制造并銷售基于瞬變平面熱源技術(shù)(TPS)的熱導率、熱擴散率和比熱容的測試儀器;英國THT公司是一家專業(yè)開發(fā)制造量熱儀和提供化工領域安全咨詢和產(chǎn)品檢測服務的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是業(yè)界將近場光學顯微鏡(NSOM)技術(shù)和原子力顯微鏡(AFM)相技術(shù)相結(jié)合的*,NANONICS憑借著實力和品質(zhì),其產(chǎn)品涉足的領域從科研到工業(yè),從生物學到半導體,從化學制品到無線電通訊,應用范圍極其廣泛。公司新近推出了材料表征連用技術(shù),包括Nanonics系列電鏡(AFM、SPM)與Renishaw拉曼光譜儀、Smith在線紅外技術(shù)和掃描電鏡SEM的組合一體機,具有很高的性價比和競爭力。


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SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...
SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積... 產(chǎn)品詳情

AGUS-logog-GIF.gif

SAL-1000 ALD原子層沉積系統(tǒng)

SAL-1000Series是由日本AGUS生產(chǎn)的桌面型ALD原子層沉積設備,可搭載2路前驅(qū)體。適用于4英寸(φ 100mm)基片的沉積,并可搭載粉末樣品架和手套箱。

SAL-1000SERIES.gif

SAL-1000Sseries原子層沉積設備具備如下特點:

1. 良好的成膜性能,膜厚均勻性高,≤3%

·對于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性;

· 膜厚可精準控制達一個原子層;

· 大面積制程可達到無孔洞薄膜(Pin Hole free)

· *的重復性及穩(wěn)定性

· 材料缺陷密度低

· 可成長非晶型或結(jié)晶薄膜(選擇溫度)

ALD技術(shù)對比.gif

2. 優(yōu)異的真空性能,真空度≤5Pa

3. 觸控操作,簡單易用;

·觸摸屏使用戶可以輕松設置配方或沉積過程,并檢查每個驅(qū)動系統(tǒng)的運動。

·可進行自動沉積,并在沉積完成后自動完成N2排放。

image.png

·手套箱的真空排氣和惰性氣體的引入也可自動完成。

4. 配件豐富,可滿足多種試驗需求:

基底旋轉(zhuǎn)架、粉末樣品配件、手套箱、臭氧發(fā)生器、尾氣處理設備、200℃前驅(qū)體的加熱器,干式真空泵等;

ALD粉末樣品支架說明.gif

粉末沉積配件:傾斜框架可調(diào)整的角度為0 ~ 45°,更便于粉末成膜。單次可對5cm3的粉體進行表面沉積;

SAL-1000配件.gif

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