RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
測量范圍 5通道≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm,≥0.3µm,≥0.5µm
最多粒子數(shù)量 30000顆/ml（誤差值低于5%）
技術(shù)參數(shù)
光源 鐳射二極管(波長:830nm,額定輸出:200mW)
部分材料 人造石英,不銹鋼，氟塑料
流量 測試流量100ml/分鐘
測量范圍 5通道≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm,≥0.3µm,≥0.5µm
最多粒子數(shù)量 30000顆/ml（誤差值低于5%）
電源 100V~240V AC,40VA(包含電源供應(yīng)器KZ-50)
尺寸.重量 135(H)×280(W)×150 (D) mm,大約:6.5kg
應(yīng)用范圍
