RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器,可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專(zhuān)用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。
粒徑范圍(4通道) ≥0.05µm,≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm標(biāo)配
可選通道 2-10個(gè)通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.05~0.2µm
光源激光二極管泵/固態(tài)晶振鐳射(波長(zhǎng):830nm,額定輸出:200mW)
與樣品接觸部分材料 人造石英,碳氟橡膠、氟塑膠、PMC
外部材質(zhì) SUS304/316、有機(jī)玻璃、POM
流量 10ml/分鐘,清洗流量0.1-1l/分鐘(清洗流速隨著樣品來(lái)源之壓力不同而改變)
粒徑范圍(4通道) ≥0.05µm,≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm標(biāo)配
可選通道 2-10個(gè)通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.05~0.2µm
粒子數(shù)量 200000顆/ml,誤差值低于10%
電源100V-240V AC,50/60Hz 130VA
尺寸.重量 230×330×570mm(突出部分除外)大約19.8kg