RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專(zhuān)用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。
特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
測(cè)量范圍 2通道 ≥0.05µm, ≥0.1µm（四個(gè)通道需要工廠設(shè)定）
最多粒子數(shù)量 100000顆/ml（誤差值低于5%）
技術(shù)參數(shù)
光源鐳射二極管(波長(zhǎng):830nm,額定輸出:200mW)
部分材料 人造石英、碳氟橡膠、PFA
流量 測(cè)試流量10ml/分鐘
測(cè)量范圍 2通道 ≥0.05µm, ≥0.1µm（四個(gè)通道需要工廠設(shè)定）
最多粒子數(shù)量 100000顆/ml（誤差值低于5%）
電源 100V~240V AC,(包含電源供應(yīng)器KZ-50)
尺寸.重量 160(H)×300(W)×250 (D) mm,大約:6kg
應(yīng)用范圍
