等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌
等離子清洗機可以實現(xiàn)表面清洗、表面活化、表面刻蝕以及表面涂鍍的功能，根據所需處理的材料與目的不同，等離子清洗機可以實現(xiàn)不同的處理效果。等離子清洗機在半導體行業(yè)中的應用有等離子刻蝕、顯影、去膠、封裝等。真空等離子清洗機的刻蝕工藝在半導體集成電路中，既可以刻蝕表層的光刻膠，也能夠刻蝕下層的氮化硅層，通過對真空等離子清洗機的部分參數(shù)調整，是能夠形成一定的氮化硅層形貌
等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌
等離子清洗機可以實現(xiàn)表面清洗、表面活化、表面刻蝕以及表面涂鍍的功能，根據所需處理的材料與目的不同，等離子清洗機可以實現(xiàn)不同的處理效果。等離子清洗機在半導體行業(yè)中的應用有等離子刻蝕、顯影、去膠、封裝等。真空等離子清洗機的刻蝕工藝在半導體集成電路中，既可以刻蝕表層的光刻膠，也能夠刻蝕下層的氮化硅層，通過對真空等離子清洗機的部分參數(shù)調整，是能夠形成一定的氮化硅層形貌，即側壁蝕刻傾斜度。
1 氮化硅材料特點
氮化硅（Si3N4）是目前炙手可熱的新材料之一，具有密度小、硬度大、彈性模量高、熱穩(wěn)定性好等特點，在諸多領域都有應用。在晶圓制造中，氮化硅可替代氧化硅使用，因其硬度高，可在晶圓表面形成非常薄的氮化硅薄膜（在硅片加工中，應用為廣泛的描述薄膜厚度的單位是埃），厚度約在數(shù)十埃，保護表面，避免劃傷，此外其突出的絕緣強度和抗氧化能力也能夠很好地達到隔離的效果。氮化硅的不足在于，其流動性不如氧化物，難以刻蝕，采用等離子刻蝕可以克服刻蝕上的難點。
等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌
2 等離子體刻蝕原理和應用
等離子刻蝕是通過化學作用或者物理作用，或者物理和化學共同作用來實現(xiàn)的。反應腔室內的氣體輝光放電，包括離子、電子及游離基等活性物質的等離子體，通過擴散作用吸附到介質表面，與介質表面原子發(fā)生化學反應，形成揮發(fā)性物質。同時高能離子在一定壓力下對介質表面進行物理轟擊和刻蝕，去除再沉積的反應產物和聚合物。通過化學和物理的共同作用來完成對介質層的刻蝕。
