低溫等離子設備的應用范圍

低溫等離子放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體，也叫非平衡態(tài)等離子體。

如果電子的溫度和重粒子溫度差不多，則為高溫等離子體，或平衡態(tài)等離子體。

低溫等離子體中能量的傳遞大致為:電子從電場中得到能量，通過碰撞將能量轉化為分子的內能和動能，獲得能量的分子被激發(fā)，與此同時，部分分子被電離，這些活化了的粒子相互碰撞從而引起一系列復雜的物理化學反應。因等離子體內富含的大量活性粒子如離子、電子、激發(fā)態(tài)的原子和分子及自由基等，從而為等離子體技術通過化學反應處理異味物質提供了條件。它是基于放電物理、放電化學、反應工程學的學科之上的交叉學科。近幾十年來，有關等離子體技術的研究非?；钴S，為合成新物質、新材料及環(huán)境污染治理等提供了一種新技術、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。但是，無論是哪一種高壓放電技術，都是通過高壓放電的原理，必須充分考慮到爆炸問題，特別是在易燃易爆的化工場合。

我們知道了等離子清洗機產生的等離子體屬于低溫等離子體中的冷等離子范疇，那么低溫等離子體具有什么特征，在工業(yè)上又有哪些應用呢？

低溫等離子體在應用上具有兩個主要特征：與常規(guī)的物理、化學的其他方法相比，等離子體具有更高的溫度和能量密度；等離子體能夠產生活性成分，從而引發(fā)在常規(guī)化學反應中不能或難以實現(xiàn)的物理變化和化學反應?；钚猿煞职ㄗ贤夂涂梢姽庾?、電子、離子、自由基團等；高反應性的中性成分，如活性原子（O、F等）；受激原子態(tài)；活性分子碎片，如單體。

低溫等離子體放電產生具有化學特性的微粒，這個顯著的特點被廣泛應用于材料表面改性。與傳統(tǒng)的工藝相比較，等離子體技術應用的優(yōu)點包括：

①不會改變基體固有性能，改性作用僅僅發(fā)生在表面，約幾到幾十個納米，如半導體納米蝕刻。

②全程干燥的處理方式（干式法），無需溶解劑和水，幾乎不產生污染，因而節(jié)約能源，降低成本。

③作用時間短，反應速率高，加工對象廣，能顯著提高產品質量。

④工藝簡單、操作方便，生產可控性強，產品*性好。

⑤屬于健康型工藝，對操作人員身體無傷害。

低溫等離子設備的應用范圍

由于有以上這些優(yōu)點，低溫等離子技術被廣泛應用于諸多工業(yè)領域，而且越來越重要，尤其是低溫等離子材料表面處理技術在能源、物質與材料、環(huán)境、生化等多個行業(yè)起著關鍵作用。