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PHI710掃描俄歇納米探針-電子探針

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一直以來(lái),用戶(hù)經(jīng)常在市場(chǎng)上尋找儀器分析高濃度氣體,標(biāo)準(zhǔn)的MS-200型TOF-MS飛行時(shí)間質(zhì)譜儀并不一定是此類(lèi)應(yīng)用的理想選擇,因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)的MS-200型  TOF-MS采用的是雙薄膜進(jìn)樣系統(tǒng),靈敏度非常高。當(dāng)我們對(duì)其進(jìn)樣系統(tǒng)進(jìn)行改造后,MS-200型  TOF-MS可快速分析高濃度有機(jī)氣體,很好地滿(mǎn)足石油勘探公司的分析需求。 石油勘探公司采改裝后的MS-200型TOF-MS快速分析有高濃度有機(jī)氣體。在石油鉆探操作的大部分時(shí)間內(nèi),需要分析的是被釋放的高濃度烴類(lèi)氣體。因此,采用毛細(xì)管進(jìn)樣(而不是外層薄膜進(jìn)樣)的MS-200型TOF-MS更能適合石油勘探公司分析高濃度有機(jī)氣體的需求。 

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PHI710掃描俄歇納米探針
1 . 使用CMA同軸分析器,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高傳輸率。即使在低電流高空間分辨率情 況下,都可輕松的進(jìn)行分析
PHI710掃描俄歇納米探針-電子探針 產(chǎn)品詳情

PHI710掃描俄歇納米探針1 . 使用CMA同軸分析器,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高傳輸率。即使在低電流高空間分辨率情 況下,都可輕松的進(jìn)行分析 2.以20kV加速電壓和電流1nA進(jìn)行俄歇分析,AES空間分辨率可達(dá)~8nm 3.在保有所有CMA的優(yōu)點(diǎn)同時(shí),并加上了獲得AVS (美國(guó)真空協(xié)會(huì))設(shè)計(jì)獎(jiǎng)的高能量分 辨率功能,可以AES進(jìn)行各種納米級(jí)區(qū)域的化學(xué)態(tài)分析 4.Windows兼容軟件

PHI710掃描俄歇納米探針一同軸筒鏡分析儀 (CMA:Cylindrica l Mirror Analyzer) 同軸CMA是PHI公司在其電子光譜儀的中心軸上放置電子槍。CMA能*360度收集產(chǎn)生的俄歇電子,因此具有不受樣品形貌和傾角影響的 優(yōu)點(diǎn)。圖3顯示同軸CMA和非同軸譜儀SCA的靈敏度特點(diǎn)。CMA從垂直 入射到角度入射均能表現(xiàn)出高靈敏度特點(diǎn),角度依賴(lài)性低,從而采用各種 入射角度,分析各種形貌的樣品均可得到優(yōu)異的定量結(jié)果。

比較分析形態(tài)復(fù)雜的樣本 圖4比較CMA和SCA所采集的銅錫球SEM成像,以及俄歇成分像, SCA中俄歇成分圖的陰影效果非常明顯,而CMA所獲得的SEM像和俄歇 成分像可準(zhǔn)確地反映真實(shí)結(jié)果。

俄歇分析通過(guò)SEM觀察確定分析位置,再進(jìn)行采譜,成分分布成像和深度 剖析。在SEM觀察時(shí)需要細(xì)小的聚焦電子束斑,同時(shí)進(jìn)行俄歇分析,需要非 常穩(wěn)定的電子束。 SEM成像分辨率可達(dá)3納米左右,AES710使用低噪聲電源(圖1). 采用 隔音罩以減小振動(dòng)、聲音、和溫度的影晌,AES分析時(shí)分辨率可達(dá)到8nm (20 kV 1 nA). 圖2案例:球墨鑄鐵斷面中晶間雜質(zhì)的分析。 從左圖所示:二次電子像,Ca (藍(lán)色) Mg(綠色) Ti (紅色)俄歇成分 像,以及S的俄歇成分分布像,表明了AES納米級(jí)微區(qū)的化學(xué)分析能力。 

關(guān)鍵詞:光譜儀
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