PHI710掃描俄歇納米探針1 . 使用CMA同軸分析器，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高傳輸率。即使在低電流高空間分辨率情 況下，都可輕松的進(jìn)行分析 2.以20kV加速電壓和電流1nA進(jìn)行俄歇分析，AES空間分辨率可達(dá)~8nm 3.在保有所有CMA的優(yōu)點(diǎn)同時(shí)，并加上了獲得AVS (美國(guó)真空協(xié)會(huì)）設(shè)計(jì)獎(jiǎng)的高能量分 辨率功能，可以AES進(jìn)行各種納米級(jí)區(qū)域的化學(xué)態(tài)分析 4.Windows兼容軟件

PHI710掃描俄歇納米探針一同軸筒鏡分析儀 (CMA:Cylindrica l Mirror Analyzer) 同軸CMA是PHI公司在其電子光譜儀的中心軸上放置電子槍。CMA能*360度收集產(chǎn)生的俄歇電子，因此具有不受樣品形貌和傾角影響的 優(yōu)點(diǎn)。圖3顯示同軸CMA和非同軸譜儀SCA的靈敏度特點(diǎn)。CMA從垂直 入射到角度入射均能表現(xiàn)出高靈敏度特點(diǎn)，角度依賴(lài)性低，從而采用各種 入射角度，分析各種形貌的樣品均可得到優(yōu)異的定量結(jié)果。

比較分析形態(tài)復(fù)雜的樣本 圖4比較CMA和SCA所采集的銅錫球SEM成像，以及俄歇成分像， SCA中俄歇成分圖的陰影效果非常明顯，而CMA所獲得的SEM像和俄歇 成分像可準(zhǔn)確地反映真實(shí)結(jié)果。

俄歇分析通過(guò)SEM觀察確定分析位置，再進(jìn)行采譜，成分分布成像和深度 剖析。在SEM觀察時(shí)需要細(xì)小的聚焦電子束斑，同時(shí)進(jìn)行俄歇分析，需要非 常穩(wěn)定的電子束。 SEM成像分辨率可達(dá)3納米左右，AES710使用低噪聲電源（圖1). 采用 隔音罩以減小振動(dòng)、聲音、和溫度的影晌，AES分析時(shí)分辨率可達(dá)到8nm (20 kV 1 nA). 圖2案例：球墨鑄鐵斷面中晶間雜質(zhì)的分析。 從左圖所示：二次電子像，Ca (藍(lán)色） Mg(綠色） Ti (紅色）俄歇成分 像，以及S的俄歇成分分布像，表明了AES納米級(jí)微區(qū)的化學(xué)分析能力。