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手動(dòng)探針臺(tái)常見(jiàn)問(wèn)題解答

2019年悄然到來(lái)，新年新氣象，開(kāi)年伊始就收到很多朋友對(duì)手動(dòng)探針臺(tái)使用問(wèn)題的咨詢，在此收集整理供手動(dòng)探針臺(tái)相關(guān)信息供大家參考。因經(jīng)驗(yàn)有限，有說(shuō)的不合適的地方，望大家指正。

一：手動(dòng)探針臺(tái)用途：

探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途。

手動(dòng)探針臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域：

Failure analysis  集成電路失效分析                   

Wafer level  reliability晶元可靠性認(rèn)證

Device characterization 元器件特性量測(cè)               

Process modeling塑性過(guò)程測(cè)試(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成監(jiān)控                     

Package part probing  IC封裝階段打線品質(zhì)測(cè)試

Flat panel probing 液晶面板的特性測(cè)試                

PC board probing  PC主板的電性測(cè)試

ESD&TDR testing    ESD和TDR測(cè)試                      

Microwave  probing  微波量測(cè)(高頻)

Solar太陽(yáng)能領(lǐng)域檢測(cè)分析                              

LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測(cè)分析

二：手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：

1.將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。

2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。

4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。

5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。

6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。常見(jiàn)故障的排除

當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。

手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。

三：手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述 

（以實(shí)驗(yàn)室常見(jiàn)的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸，六寸探針臺(tái)為例） 

儀準(zhǔn)科技致力于失效分析設(shè)備研發(fā)及測(cè)試服務(wù)：優(yōu)勢(shì)設(shè)備有手動(dòng)探針臺(tái)probe，激光開(kāi)封機(jī)laser decap，IV自動(dòng)曲線量測(cè)儀，微光顯微鏡EMMI,紅外顯微鏡

探針臺(tái)載物臺(tái)平整度：5μm

探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu)，可抬高顯微鏡，便于更換鏡頭和換待測(cè)物

探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm，并具備鎖定功能

探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪，可微調(diào)控制臺(tái)面升降范圍25mm（客戶有特殊需求，可以增大范圍），精度1μm

6英寸或者8英寸載物盤(pán)可選，卡盤(pán)平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔徑250μm-1mm定制

卡盤(pán)可0-360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，標(biāo)配角度鎖定旋鈕

大螺母可控制載物盤(pán)X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為150mm or 200mm，移動(dòng)精度為1μm

載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能，便于上下料

載物臺(tái)up/down功能（選項(xiàng)）

可搭配金相高倍顯微鏡和體式顯微鏡，顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2.5英寸，移動(dòng)精度1um

可搭配4~8顆探針座，進(jìn)行DC或者高頻測(cè)試

可選附件

射頻測(cè)試探頭及電纜                                   

有源探頭

低電流/電容測(cè)試                                      

高壓模塊

激光修復(fù)                                             

高清數(shù)字相機(jī)

探針卡/封裝/PCB板夾具                                

Hot Chuck

防震桌                                               

屏蔽箱

兼容測(cè)試儀器

各種型號(hào)示波器                                       

各種品牌型號(hào)的源表

安捷倫B1500、安捷倫4155、安捷倫4156                              

Keithley 4200

各品牌的網(wǎng)絡(luò)分析儀                               

應(yīng)用領(lǐng)域

Failure analysis  集成電路失效分析                   

Wafer level  reliability晶元可靠性認(rèn)證

Device characterization 元器件特性量測(cè)               

Process modeling塑性過(guò)程測(cè)試(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成監(jiān)控                     

Package part probing  IC封裝階段打線品質(zhì)測(cè)試

Flat panel probing 液晶面板的特性測(cè)試                

PC board probing  PC主板的電性測(cè)試

ESD&TDR testing    ESD和TDR測(cè)試                      

Microwave  probing  微波量測(cè)(高頻)

Solar太陽(yáng)能領(lǐng)域檢測(cè)分析                              

LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測(cè)分析

機(jī)臺(tái)總述

重量：50kg（含顯微鏡）

尺寸：720mm寬*680mm長(zhǎng)*80mm高（含顯微鏡）

動(dòng)力需求：電源220V/1；4~6KG壓縮空氣

四：手動(dòng)探針臺(tái)維護(hù)和保養(yǎng)

1. 避免碰撞：在安裝，操作手動(dòng)探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。

2.儀器的運(yùn)輸：儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。

儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專(zhuān)門(mén)的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。

3.儀器的存放

使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。

探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。

探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時(shí)易燃物，注意使用安全。

停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。

操作人員必須嚴(yán)格按要**作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。

4.工作環(huán)境

探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，可以是具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。

使用適宜溫度范圍為5℃～40℃，適宜濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%至60%之范圍。使用時(shí)門(mén)窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。

使用電源：220正負(fù)10%，50至60Hz

五：手動(dòng)探針臺(tái)采購(gòu)注意事項(xiàng)

因手動(dòng)探針臺(tái)屬于高定制產(chǎn)品，沒(méi)有統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，各單位可以根據(jù)自己的實(shí)際實(shí)驗(yàn)需求，及經(jīng)費(fèi)情況，由專(zhuān)業(yè)工程師配合做出具體配資單，一般確認(rèn)配置可以問(wèn)的幾個(gè)問(wèn)題，這些問(wèn)題清楚了，具體配置也就清楚了。

1、大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者元器件？ 
2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？ 
3、測(cè)試點(diǎn)（pad）尺寸規(guī)格為多少？
4、多同時(shí)需要幾根探針？ 
5、搭配測(cè)試儀器是什么？ 
6、測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫？ 
7、是否需要防震桌？ 
8、是否需要屏蔽箱？

以上是對(duì)大家關(guān)心手動(dòng)探針臺(tái)問(wèn)題的整理，僅供參考，若有不妥之處，歡迎指正。