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晶圓針測制程介紹

來源:失效分析實驗室 趙工   2020年05月11日 14:37  

《晶圓針測制程介紹》

  晶圓針測(Chip Probing;CP)之目的在于針對芯片作電性功能上的 測試(Test),使 IC 在進入構(gòu)裝前先行過濾出電性功能不良的芯片,以避免對不良品增加制造成本。

   半導(dǎo)體制程中,針測制程只要換上不同的測試配件,便可與測試制程共享相同的測試機臺(Tester)。所以一般測試廠為提高測試機臺的使用率,除了 提供終測試的服務(wù)亦接受芯片測試的訂單。以下將此針測制程作一描述。

 

  

上圖為晶圓針測之流程圖,其流程包括下面幾道作業(yè):  

 

(1)晶圓針測并作產(chǎn)品分類(Sorting)  

晶圓針測的主要目的是測試晶圓中每一顆晶粒的電氣特性,線路的 連接,檢查其是否為不良品,若為不良品,則點上一點紅墨水,作為識別之用。除此之外,另一個目的是測試產(chǎn)品的良率,依良率的高低來判斷晶圓制造的過程是否有誤。良品率高時表示晶圓制造過程一切正常, 若良品率過低,表示在晶圓制造的過程中,有某些步驟出現(xiàn)問題,必須盡快通知工程師檢查。

 

(2)雷射修補(Laser Repairing)

雷射修補的目的是修補那些尚可被修復(fù)的不良品(有設(shè)計備份電路 在其中者),提高產(chǎn)品的良品率。當晶圓針測完成后,擁有備份電路的產(chǎn)品會與其在晶圓針測時所產(chǎn)生的測試結(jié)果數(shù)據(jù)一同送往雷射修補機中 ,這些數(shù)據(jù)包括不良品的位置,線路的配置等。雷射修補機的控制計算機可依這些數(shù)據(jù),嘗試將晶圓中的不良品修復(fù)。

 

 

(3)加溫烘烤(Baking)

加溫烘烤是針測流程中的后一項作業(yè),加溫烘烤的目的有二:

(一)將點在晶粒上的紅墨水烤干。  

(二)清理晶圓表面。經(jīng)過加溫烘烤的產(chǎn)品,只要有需求便可以出貨。

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