技術(shù)參數(shù):
SFT9500產(chǎn)品規(guī)格
可測(cè)量元素
原子序數(shù)13(Al)~83(Bi)
X射線聚光
聚光方式
X射線源
管電壓:50kV
管電流:1mA
檢測(cè)器
Vortex®檢測(cè)器(無(wú)需液氮)
分析范圍
Φ0.1mm、Φ5mm
樣品觀察
彩色CCD攝像頭(附變焦功能)
濾波器
3種模式自動(dòng)切換
樣品室
樣品平臺(tái) 240(W)×330(D)mm
移動(dòng)量 X:220mm Y:150mm Z:150mm
載重量 10kg
重量
123kg(不含電腦)
X-ray Station
臺(tái)式電腦 19"LCD
(OS; MS-Windows XP®)
膜厚測(cè)量軟件
薄膜FP法(zui多五層,各層十種元素)
檢量線法(單層、雙層、合金膜厚成分)
定量分析功能
塊體FP法
統(tǒng)計(jì)處理功能
MS-EXCEL®
報(bào)告制作
MS-WORD®
安裝環(huán)境
溫度:10℃~35℃(±)5℃
濕度:35%~80%
使用電源
接地三頭插座 AC100、15A
主要特點(diǎn):
★ X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
由于采用了X射線聚光導(dǎo)管方式,可得到以往十倍以上的X射線強(qiáng)度,從而可以提高微小樣品的膜厚測(cè)量及有害物質(zhì)測(cè)量的精度。
★ 無(wú)需液氮的半導(dǎo)體檢測(cè)器
在進(jìn)行薄膜測(cè)量與有害物質(zhì)的濃度測(cè)量時(shí),高分辨率的檢測(cè)器是*的。SFT9500的檢測(cè)器不但可以達(dá)到高分辨率,而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí),由于使用了電子冷卻方式,所以無(wú)需液氮。
★ 能譜匹配軟件(選配件)
可瞬間識(shí)別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫(kù)中哪一個(gè)樣品較為接近的軟件。對(duì)識(shí)別材料十分有效。
★ 塊體檢量線軟件(適用于電鍍液分析) (選配件)
可簡(jiǎn)單地測(cè)量出電鍍液中主要金屬的濃度。
★ 繪圖軟件(選配件)
將元素面分析的結(jié)果進(jìn)行等高線和色彩使用等視覺(jué)處理的軟件。
★ 電鍍液容器(選配件)
★ 各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)(選配件)