在FT9500X中,我們開(kāi)發(fā)了新型X射線聚光導(dǎo)管(單毛細(xì)管),實(shí)現(xiàn)了FT最小的實(shí)際照射約為Φ30μm的高強(qiáng)度X光束照射。
為此,可以對(duì)以往由于X射線照射強(qiáng)度不足而導(dǎo)致無(wú)法得到理想精度的導(dǎo)線架、接插件、柔性線路板等微小零件及極薄鍍層進(jìn)行測(cè)量。
高性能X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT9500系列/FT9500X系列 特長(zhǎng)
- X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
因?yàn)椴捎昧薠射線聚光導(dǎo)管方式,所以可以得到以往10倍以上的X射線強(qiáng)度,從而可以提高微小樣品的膜厚測(cè)量及有害物質(zhì)測(cè)量的精度。 - 不需液氮的半導(dǎo)體檢測(cè)器
在進(jìn)行薄膜測(cè)量時(shí),高分辨率的檢測(cè)器是必*。FT9500的檢測(cè)器不但可以達(dá)到高分辨率而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí),由于使用了電子冷卻方式,所以無(wú)需液氮。 - Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射
FT9500X作為聚光導(dǎo)管方式的鍍層測(cè)量?jī)x,可進(jìn)行達(dá)Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射。另外,與FT9500相比,僅相當(dāng)過(guò)去約10%的照射面積即可進(jìn)行同等精度的測(cè)量。 - 多鍍層的厚度測(cè)量
FT9500可以同時(shí)對(duì)納米等級(jí)的電子材料上多鍍層的各層厚度進(jìn)行測(cè)量,最多五層鍍層及組成。
高性能X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT9500系列/FT9500X系列 規(guī)格
? | FT9500系列 | FT9500X系列 |
測(cè) 量 元 素 | 原子序數(shù)13 (Al)~83 (Bi) | |
X 射 線 管 | 管電壓:50kV 管電流:1mA | |
檢 測(cè) 器 | 半導(dǎo)體檢測(cè)器(無(wú)液化氮) | |
X 射 線 聚 光 | 聚光導(dǎo)管方式 | |
X射線照射尺寸 | Φ0.1mm | Φ30μm |
樣 品 觀 察 | CCD攝像頭(帶變焦功能) | |
對(duì) 焦 | 激光對(duì)焦 | |
一次濾波器(電動(dòng)切換) | 選購(gòu)項(xiàng) | 有 |
X-ray Station | 電腦 (OS: Windows) 19英寸液晶顯示屏 | |
打 印 機(jī) | 噴墨打印機(jī)(選購(gòu)項(xiàng)) | |
鍍層厚度測(cè)量軟件 | 薄膜FP法(5層、各層10種元素) 標(biāo)準(zhǔn)曲線法(單層、雙層、合金鍍層成分) | |
定量分析軟件 | 塊體FP法、塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線法 | 無(wú) |
測(cè) 量 功 能 | 自動(dòng)測(cè)量、中心搜索、圖像處理 | |
修 正 功 能 | 底材修正、已知樣品修正 | |
定 性 功 能 | KLM標(biāo)記功能、比較顯示 | |
統(tǒng)計(jì)處理功能 | 配備MS-EXCEL? | |
報(bào)告生成功能 | 配備MS-WORD? | |
安 全 功 能 | 樣品門聯(lián)鎖 防沖撞功能 | |
使 用 電 源 | 100V/15A 帶地線的3孔插座 |
選購(gòu)項(xiàng)
- 電鍍液分析(塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線)
- 能譜匹配軟件(材料辨別)
- 掃描(強(qiáng)度面分析多點(diǎn)表示)軟件