2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量!
3.可無標樣測量!
4.通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置!
FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀 特長
- 通過自動定位功能提高操作性
測量樣品時,以往需花費約10秒的樣品對焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大提高樣品定位的操作性。 - 微區(qū)膜厚測量精度提高
通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。 - 多達5層的多鍍層測量
使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。 - 廣域觀察系統(tǒng)(選配)
可從250×200mm的樣品整體圖像測量位置。 - 對應大型印刷線路板(選配)
可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。 - 低價位
與以往機型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價格。
FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀 規(guī)格
型號 | FT110A |
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測量元素 | 原子序號Ti(22)~Bi(83) |
X射線源 | 空冷式小型X射線管 管電壓:50(可變更)kV 管電流:10~1000µA |
檢測器 | 比例計數(shù)管 |
準直器 | ○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2? |
樣品觀察 | CCD攝像頭 |
對焦 | 激光對焦(自動) |
濾波器 | 一次濾波器(自動切換) |
樣品區(qū)域 | [固定]535×530 mm [電動] 260×210 mm (移動量X:250 mm, Y:200 mm) |
測量軟件 | 薄膜FP法(2層、10種元素)、檢量線法 |
安全功能 | 樣品室門聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 |
選購項
- 圖像處理軟件
- 塊體FP軟件(材料組成分析)
- 塊體檢量線軟件(電鍍液分析)