自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測量儀的第八代產(chǎn)品FT110A,在測量精度、操作性能、軟件上有新的優(yōu)化。
通過自動定位功能,只需把樣品放在樣品臺上,便能在數(shù)秒內(nèi)自動對準觀察樣品焦點,省略了以前手動逐次對焦的操作,大幅提高了測量效果。
1.自動對焦功能 自動接近功能
在樣品臺上放置各種高度的樣品時,只要高低差在80mm范圍內(nèi),即可在3秒內(nèi)自動對焦被測樣品。由此進一步提高定位操作的便捷性。
●自動對焦功能 簡便的攝像頭對焦
●自動接近功能 位置的對焦
2.通過新薄膜FP法提高測量精度
實現(xiàn)微小光束的高靈敏度,通過微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2。另外,針對檢測器的特性開發(fā)了新的EP法,可進行無標樣測量。測量結(jié)果可一鍵生成報告書,簡單方便。
●新薄膜EP法
減少檢量線制作的繁瑣程度、實現(xiàn)了設(shè)定測量條件的簡易化
無標樣測量方法可進行最多5層的膜厚測量
●自動對焦功能和距離修正功能
凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進行測量
●靈敏度提高
鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2
●生成報告功能
一鍵生成測量報告書
3.廣域樣品觀察
對測量平臺(250mm*200mm)上放置的樣品拍攝一張靜態(tài)畫面后,可在獲取的廣域觀察圖像上狹域的觀察位置。由此,可大幅減少多數(shù)測量點位置的選取時間,以及在圖像上難以尋找的特定點位置的選定時間。
●廣域圖像觀察
輕松定位
儀器基本規(guī)格:
測量元素 | T(i 22)~B(i 83) |
X射線管 | W靶材 |
管電壓:50 kV 管電流:1 mA | |
檢測器 | 比例計數(shù)管 |
準直器 | φ0.1、φ0.2 ㎜ |
樣品觀察 | CCD攝像頭 |
X-Ray station | PC(OS Windows)+21.5英寸液晶顯示器 |
應用程序 | 定性分析 |
薄膜檢量線(單層、2層、2成分合金單層膜) | |
薄膜FP法(最多可測量5層、10個元素) | |
統(tǒng)計處理 | |
測量功能 | 自動測量、中心搜索 |
報告功能 | Microsoft Word / Excel |
電源 | AC100~120 V / AC200~240 V |
可測樣品
標準型 | 開槽型 | ||
儀器尺寸 | 600(W)×815(D) ×675(H)㎜ | 儀器尺寸 | 600(W)×815(D)×675(H)㎜ |
樣品尺寸 | 250(W)×200(D) ×150(H)㎜電動樣品臺 | 樣品尺寸 | 600(W)×600(D)×15(H)㎜及250(W)×200 (D)×150(H)㎜ |
樣品重量 | 10 Kg | 樣品重量 | 10 Kg |