使用新開發(fā)的X射線聚光用多毛細(xì)管的產(chǎn)品陣容誕生了。另外,以X射線檢測結(jié)構(gòu)為中心,對各類元件進(jìn)行更佳優(yōu)化,從而大幅提高了檢測靈敏度,在不損失檢測精度的前提下實現(xiàn)了的高處理能力。并且,對設(shè)備進(jìn)行了重新設(shè)計,使得樣本室的使用,以及對檢測點的檢查變得更為容易。
1.顯微領(lǐng)域的高精度檢測
通過采用新開發(fā)的多毛細(xì)管,以及對探測器的優(yōu)化,在實現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號FT9500X為30 μm(設(shè)想FWHM: 17 μm)的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步將處理能力提高到了2倍以上。
2.產(chǎn)品陣容適應(yīng)各類檢測樣本
針對檢測樣本的不同種類,可在下列3種型號中進(jìn)行選擇。
●測量引線架、連接器等各類電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號
●能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號
●適合對陶瓷芯片電極部分中,過去難以同時測量的Sn/Ni兩層進(jìn)行高能測量的型號
3.兼顧易操作性與安全性
放大了開口,同時樣本室的門也可單手輕松開閉。從而提高了取出、放入檢測樣本的操作簡便性,并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險,讓用戶放心使用。
4.檢測部位可見
通過設(shè)置大型觀察窗、修改部件布局,使得樣本室門在關(guān)閉狀態(tài)下亦可方便地觀察檢測部位。
5.清晰的樣本圖像
使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭,采用全數(shù)碼變焦,從而消除位置偏差,可以清晰地觀察數(shù)十μm的微小樣本。
另外,亦采用LED作為樣本觀察燈,無需像以往的機(jī)型那樣對燈泡進(jìn)行更換。
6.新規(guī)
將各類檢測方法、檢測樣本都以應(yīng)用程序圖標(biāo)的形式進(jìn)行了登記。圖標(biāo)皆為檢測樣本的照片、多層膜的圖示等,因此登記、整理起來就很方便,從而使得用戶可以不走彎路,直接進(jìn)行檢測。
使用檢測向?qū)Т翱趤碇笇?dǎo)操作。通過與檢測畫面聯(lián)動,逐步引導(dǎo)用戶執(zhí)行當(dāng)前所需進(jìn)行的工作。
儀器規(guī)格:
| FT150 | FT150L | FT150h |
測量元素 | A(l Z=13)~U(Z=92) | A(l Z=13)~U(Z=92) | A(l Z=13)~U(Z=92) |
X射線管 | Mo靶材 | ← | W靶材 |
管電壓:45 kV 管電流:1 mA以下 | ← | ← | |
檢測器 | Si半導(dǎo)體檢測器(SDD) | ← | ← |
照射徑 | φ:30 μm (FWHM:17 μm) | ← | φ:35 μm (FWHM:20 μm) |
樣品觀察 | CCD攝像頭 | ← | ← |
樣品尺寸 | 400 mm × 300 mm × 100 mm | 600 mm × 600 mm × 20 mm | 400 mm × 300 mm × 100 mm |
樣品重量 | 10 Kg | ← | ← |
應(yīng)用程序 | 定性分析 | ← | ← |
薄膜檢量線(單層、2層、2成分合金單層膜) | ← | ← | |
薄膜FP法(最多可測量5層、10個元素)等 | ← | ← | |
報告功能 | Microsoft Word / Excel | ← | ← |
電源 | AC100~240 V | ← | ← |
儀器尺寸 | 930 mm × 900 mm × 710 mm | 1030 mm × 1200 mm × 710 mm | 930 mm × 900 mm × 710 mm |
儀器重量 | 約160 kg | 約170 kg | 約160 kg |