中圖儀器CEM系列4nm分辨率臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。憑借CEM3000系列空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000系列上還運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計，讓用戶在使用時不再等待，且全系列可選配低真空系統(tǒng)，以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度，滿足不同樣品的觀測需求。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
產(chǎn)品功能
1）臺式電鏡緊湊的外型，CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機(jī)，一臺機(jī)器多處開花；
2）高分辨率，能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設(shè)計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調(diào)節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片；
5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術(shù)，基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度，進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測；
8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；
9）搭配有多種探頭，能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
該電鏡外型緊湊，空間適用性強(qiáng)，整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測，具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例：
不同于立式電鏡，CEM系列4nm分辨率臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
產(chǎn)品型號
CEM3000系列共涵蓋CEM3000A（大樣品倉型）和CEM3000B（抗振型）兩款強(qiáng)化機(jī)型，CEM3000A在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下，拓展了樣品倉尺寸，從而可對大尺寸樣品或多個常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。同時，用戶也可選擇加裝有減振倉的CEM3000B，確保在縮短抽放氣時間的同時，消除環(huán)境振動對電鏡的影響，保證了高倍數(shù)成像時的圖像質(zhì)量。
部分技術(shù)參數(shù)
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標(biāo)配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) | Windows10 (64bit) | |
圖片尺寸 | 640×480 | |
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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