大樣品室版電子顯微鏡 | 大樣品室版電子顯微鏡Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom XL |
光學(xué)放大 | 20 - 135 X | 20 - 135 X | 3 - 16 X |
電子光學(xué)放大 | 80 - 150,000 X | 80 - 150,000 X | 80 - 100,000 X |
分辨率 | 優(yōu)于 8 nm | 優(yōu)于 8 nm | 優(yōu)于 14 nm |
數(shù)字放大 | Max. 12 X | Max. 12 X | Max. 12 X |
光學(xué)導(dǎo)航相機 | 彩色 | 彩色 | 彩色 |
加速電壓 | 5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào) | 5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào) | 5 Kv - 20 Kv 連續(xù)可調(diào) |
真空模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 |
降低荷電效應(yīng)模式 | 降低荷電效應(yīng)模式 | 降低荷電效應(yīng)模式 | |
高真空模式 | |||
探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 |
二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | |
樣品尺寸 | 大直徑 32 mm (Ø) | 大直徑 32 mm (Ø) | 大 100 mm X 100 mm |
可同時裝載 36 個 0.5 英寸樣品臺 | |||
樣品高度 | 高 100 mm | 高 100 mm | 高 65 mm |