CG系列探針臺可提供在超高真空與高低溫轉(zhuǎn)換的環(huán)境下, 實(shí)現(xiàn)對器件及材料表征的IV/CV特性測試、射頻測試、光電 測試、電磁輸運(yùn)特性及霍爾效應(yīng)等測試。 通過設(shè)置真空腔、防輻射屏等結(jié)構(gòu),能夠有效的營造一個集 成高溫、低溫、真空等測試環(huán)境,能夠為生產(chǎn)出來的半導(dǎo)體器件提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
產(chǎn)品亮點(diǎn):CG系列真空高低溫探針臺
- 可支持4.2K-450K溫度
- 防輻射屏設(shè)計,提高樣品溫度均勻與準(zhǔn)確性
- 探針熱沉設(shè)計,保證精準(zhǔn)落針
- 可升級加載磁場
- 靈活且可擴(kuò)展的測試應(yīng)用配置
- 自動冷媒流量控制,自動精準(zhǔn)控溫
產(chǎn)品參數(shù):CG系列真空高低溫探針臺
型號 | SCG-O-2 | SCG-O-4 | SCG-C-2 | |
外形 | 900*900*530mm | 1100*1100*530mm | 1100*1100*1030mm | |
重量 | 約170KG | 約190KG | 約290KG | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | |||
樣品臺 | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 | |||
樣品臺移動 | 固定的樣品臺 | |||
真空度 | 10^-10torr真空 | |||
光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
放大倍數(shù) | 變焦:7:1分辨率4μm (放大倍數(shù)216X)或者選用金像顯微鏡(20X~1000X) | |||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | |||
溫控 規(guī)格 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷壓縮機(jī) | |
控制方式 | 開循環(huán)手動/自動冷媒流量控制 | 閉循環(huán)自動控制 | ||
控溫范圍 | 77K~450K | 4.2K~450K | ||
控溫分辨率 | 0.001K | |||
溫度穩(wěn)定性 | 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K | |||
373K ±0.08K 473K ±0.1K | ||||
823K ±0.2K(可選) 973K ±1.0K(可選) | ||||
常溫到8K冷卻時間 | 90min | 150min | ||
8K到常溫升溫時間 | 90min | 90min | ||
常溫開始的升溫時間 | 100℃ 150℃ 200℃ | |||
30min 50min 80min | ||||
加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |||
傳感器 | 硅二極管 | |||
傳感器數(shù)量 | 樣品臺,防輻射屏,探針臂各一個 | |||
功率 | 50W/100W/500W/1000W | |||
點(diǎn)針規(guī)格 | 探針數(shù)量 | 2個/4個/6個 | ||
探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié),手動控制 | |||
點(diǎn)針精度 | 2微米 | |||
X-Y-Z行程 | 25mm-25mm-25mm | |||
漏電精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | |||
可選附件 | 防震桌 | |||
多級壓縮制冷機(jī) | ||||
機(jī)械泵/分子泵組/離子泵 | ||||
射頻部件 | ||||
Chuck運(yùn)動裝置 | ||||
電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng) | ||||
1Mpa正壓系統(tǒng)升級 | ||||
超高溫升級選件 | ||||
超高真空升級選件 | ||||
客戶特殊定制 |
(*規(guī)格和設(shè)計如有更改,恕不另行通知。)