“如果您的測試PAD大于30μm,M系列則是您在實(shí)驗(yàn)室中的優(yōu)選設(shè)備之一”
產(chǎn)品亮點(diǎn)
- UPStart模塊化設(shè)計(jì)
- 可根據(jù)測試需求配置相應(yīng)模塊,多種配置可選
- 封閉式移動(dòng)平臺(tái),防塵,防誤操作,耐用時(shí)間長,定位更精準(zhǔn)
- POMater自適應(yīng)隔震底座
- 采用德國進(jìn)口隔震材料,提高測試穩(wěn)定性
產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) | M4 | M6 mini | M6 | |
外形(長*寬*高) | 650*490*620mm | 650*490*620mm | 650*490*620mm | |
重量(KG) | 約45kg | 約47kg | 約52kg | |
電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
卡盤 常溫標(biāo)準(zhǔn) | 卡盤尺寸 | 4" | 6" | 6" |
樣品固定方式 | 環(huán)形及多孔真空吸附(可定制) | |||
背電極測試功能 | 有/樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空 | |||
卡盤材質(zhì) | 316#不銹鋼(可選黃銅鍍鎳or鍍金) | |||
卡盤 移動(dòng)平臺(tái) | X-Y行程 | 100*100mm | 100*100mm | 150*150mm |
移動(dòng)精度 | 10μm | |||
Theta行程 | 360°旋轉(zhuǎn)(粗調(diào));可旋轉(zhuǎn)微調(diào),微調(diào)精度0.002° | |||
卡盤升降 | N/A | |||
卡盤快速拉出 | N/A | |||
控制方式 | 小型旋鈕驅(qū)動(dòng) | |||
針座平臺(tái) | 平臺(tái)尺寸 | 長540mm*寬310mm | ||
卡盤到平臺(tái)距離 | 8mm(卡盤上表面與針座平臺(tái)下表面) | |||
針座數(shù)量 | 最多可放置6針座(DC×6/RF×4,DC×2) | |||
針座平臺(tái)升降 | N/A | |||
針座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | |||
光學(xué)特性 | 顯微鏡規(guī)格 | 標(biāo)配體視顯微鏡(可選配視頻顯微鏡) | ||
放大倍數(shù) | 16~100X | |||
CCD像素 | 3種CCD可選:200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)/650W(數(shù)字) | |||
顯微鏡控制行程 | 顯微鏡調(diào)焦架控制可360度旋轉(zhuǎn),Z軸:50.8mm | |||
顯微鏡移動(dòng)精度 | N/A | |||
鏡頭切換方式 | N/A | |||
點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||
機(jī)械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | |||
漏電精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時(shí)) | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 |
(*規(guī)格和設(shè)計(jì)如有更改,恕不另行通知。)