產(chǎn)品簡介
橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器,主要用來測量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)。橢偏儀的主要原理是將自然光(紫外光、可見光以及紅外光)變成偏振光后通過一定角度入射到樣品上,偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會(huì)反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi),由于樣品介質(zhì)會(huì)對(duì)偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變,而這種改變會(huì)被橢偏儀測量,橢偏儀就是利用這個(gè)介質(zhì)對(duì)偏振光性質(zhì)改變的原理來表征介質(zhì)的性質(zhì)的
SE500型號(hào)采用雙光譜儀耦合實(shí)現(xiàn)250-1700nm超長波段的探測,可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究,同時(shí)可搭配自動(dòng)平臺(tái)掃描、自動(dòng)變角、微光斑探測以及平臺(tái)加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求。
產(chǎn)品相冊
設(shè)備配置
探測器:陣列探測器,
光源:高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源
軟件:TFProbe 3.3版本的軟件
入射角度變化:手動(dòng)調(diào)節(jié)
測量種類:薄膜厚度、折射率和消光系數(shù)以及多層膜堆疊
計(jì)算機(jī):Intel雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
電源:110–240V AC/50-60Hz,6A
保質(zhì)期
保修:一年的整機(jī)及零部件保修
技術(shù)參數(shù)
波長范圍:250nm到1700 nm
光斑尺寸:1mm至5mm可變
樣品尺寸:直徑可達(dá)200mm
測量厚度范圍*:〜30μm
測量時(shí)間:約1/位置點(diǎn)
入射角范圍:20到90度,5度間隔
重復(fù)性誤差*:小于1 Ǻ