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產(chǎn)品介紹:
HORIBA Scientific發(fā)明了新一代科學(xué)光譜橢偏儀,可為納米和微米層表征提供高水平的性能。UVISEL 2包括廣泛的集成自動化功能,可用于調(diào)查所有材料系列。UVISEL 2具有樣品視覺,并配有自動點選擇功能,可準(zhǔn)確定位樣品上的測量點和區(qū)域。
UVISEL 2集成了35μm消色差點,能夠覆蓋從FUV到NIR的大光譜范圍,用于測量非常小的樣品區(qū)域。在DeltaPsi2軟件的驅(qū)動下,UVISEL 2操作簡單,具有表征所有現(xiàn)有材料以及下一代材料和結(jié)構(gòu)的性能。HORIBA Scientific開始使用經(jīng)過驗證的準(zhǔn)確,靈敏的橢偏儀,UVISEL,并重新設(shè)計和改進了所有產(chǎn)品,以提供比任何其他儀器更高規(guī)格的儀器。
參數(shù):
掃描光譜相位調(diào)制橢圓偏振儀:190-880nm
視覺系統(tǒng):使用橢圓儀頭提供樣品的實時彩色圖像和準(zhǔn)確的測量點
計算機控制的微點:
可選擇8種不同的光斑尺寸,以適應(yīng)樣品的特征尺寸
消色差微光學(xué)鏡片,min.35μm
計算機控制的可變角度測角儀:
角度范圍35°- 90°
允許可變角度光譜橢圓測量法
電腦控制的200mm x 200mm XYZ:
用于自動化樣本映射
200mm方形樣品架,附有2個參考樣品
自動Z高度調(diào)節(jié):40mm自動對焦
電動樣品傾斜校準(zhǔn):通過激光系統(tǒng)對準(zhǔn)樣品
用于紫外 - 可見范圍的雙單色器系統(tǒng):
190nm - 880nm(雜散光抑制<在190nm處0.5%)
雙PMT探測器具有高的靈敏度和動態(tài)范圍
氙氣光源:150 W
近紅外擴展:至2100 nm
NIR系列的單色器:
880nm - 2100nm
InGaAs探測器
計算機和Delta Psi2軟件包:
采集,校準(zhǔn)和數(shù)據(jù)解釋
自動校準(zhǔn)
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