STK-6050 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機特點: |
4” - 8”晶圓適用 |
設(shè)計的滾輪貼膜 |
自動膠膜進給及貼膜 |
手動晶圓上下料 |
自動切割膠膜,省力 |
藍膜、UV 膠膜可選 |
PLC+觸摸屏 |
配置光簾保護功能,和緊急停機按鈕 |
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控 |
STK-6050 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機性能: |
晶圓收益 | ≥99.9% |
貼膜品質(zhì) | 沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡) |
Cycle Time: | ≤ 45 秒(不包含上料/下料時 間) |
MTBF | >168小時 |
MTTR | <1小時 |
停機時間 | <3% |
更換產(chǎn)品時間: | ≤ 10 分鐘 |
STK-6050 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機參數(shù): |
晶圓直徑: | 4”- 8”晶圓 |
晶圓厚度: | 100~750 微米 |
晶圓種類: | 硅, 砷化鎵或其它材料/單平邊,雙平邊,V 型缺口; |
膜種類: | 藍膜或者 UV 膜 |
貼膜方法: | 滾輪貼膜 |
晶圓臺盤: | 接觸式晶圓臺盤 |
晶圓臺盤加熱: | 可達 120℃ (對應(yīng)接觸式臺盤,可 選 |
晶圓放置精度: | X-Y: +/- 0.5 毫米; Θ : +/- 0.5°; |
裝卸方式: | 手動晶圓放置與取出;晶圓在位置檢測; |
防靜電控制: | 去離子風(fēng)扇 |
切割系統(tǒng): | 自動刀 |
控制單元: | 基于 PLC 控制,10.4”觸摸屏 |
電源電壓: | 單相交流電 220V,10A; |
壓縮空氣: | 60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺 |
燈塔: | 三色燈塔和蜂鳴器,用于操作狀態(tài)監(jiān)測 |
安全: | 配置安全光簾和緊急停機開關(guān); |
體積: | 950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
凈重: | 300 公斤 |