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3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2023-10-20
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量640
  • 人氣值2048
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總部設(shè)于上海,系專業(yè)化、集成化的電子制造行業(yè)綜合服務(wù)性企業(yè)。公司致力于引進(jìn)國外制造設(shè)備、精密檢測儀器、*生產(chǎn)材料,服務(wù)于國內(nèi)電子制造行業(yè),以助于國內(nèi)企業(yè)提高產(chǎn)品品質(zhì),由制造型向創(chuàng)造型企業(yè)邁進(jìn)。公司依托于中國國內(nèi)電子制造業(yè)的高速發(fā)展,產(chǎn)品已涉及消費(fèi)電子制造、汽車電子、半導(dǎo)體、LED以及光伏太陽能等行業(yè)領(lǐng)域,已在市場中建立起良好的信譽(yù)和廣泛的商業(yè)資源。近年來,隨著市場的日漸成熟和業(yè)務(wù)的不斷發(fā)展,公司的業(yè)務(wù)已經(jīng)遍布中國大陸以及港臺(tái)市場,并形成較為完善的銷售網(wǎng)絡(luò),深得廣大電子產(chǎn)品制造商的青睞。本公司將緊跟信息時(shí)代的發(fā)展步伐,充分利用自身優(yōu)勢,不斷提升自身的服務(wù)理念,致力于為客戶提供更專業(yè)化、系統(tǒng)化的技術(shù)支持與服務(wù),進(jìn)一步建立穩(wěn)固的銷售網(wǎng)絡(luò),從而將公司發(fā)展成為中國電子行業(yè)發(fā)展的企業(yè)。 

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3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn):超潔凈無塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部
3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 產(chǎn)品詳情

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn): 


超潔凈無塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)

全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 200mm

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指


3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)


使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達(dá)距離

400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運(yùn)質(zhì)量

4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))




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