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超高真空系列原子層沉積系統(tǒng)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-06-25
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 產(chǎn)品數(shù)量12
  • 人氣值23
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北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司成立于2001年,是一家經(jīng)營歐美等國*科學(xué)測試儀器和設(shè)備,并將技術(shù)引入國內(nèi)的科技服務(wù)型企業(yè)。目前,公司在北京、上海、廣州、深圳、合肥、蘇州均設(shè)有辦事處。


公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經(jīng)營公司的業(yè)務(wù)(HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way)。 


公司的主營儀器包括:分子相互作用分析儀器、機(jī)器視覺儀器、表/界面分析測試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。


公司愿景:公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求,以應(yīng)用為基礎(chǔ)的專業(yè)儀器設(shè)備供應(yīng)商、專有技術(shù)提供商,實(shí)現(xiàn)公司在行業(yè)內(nèi)的超常規(guī)發(fā)展。

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工藝可沉積薄膜種類和應(yīng)用場景包括:?High-K介電材料(Al2O3,H2O,ZrO2,PrA1Q,Ta205,La2O3)
超高真空系列原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

工藝

可沉積薄膜種類和應(yīng)用場景包括:

? High-K介電材料 (Al2O3, H2O, ZrO2, PrA1Q, Ta205, La2O3);

? 金屬互聯(lián)結(jié)構(gòu) (Cu, WN, TaN, Ru, In);

? 催化材料 (Pt, Ir, Co, TiO2):

? 生物醫(yī)學(xué)涂層 (TiN, ZrN, TiAIN, AlTIN);

?金屬(Ru, Pd, Ir Pt, Rh, Co, Cu, Fe, Ni;

? 壓電層 (ZnO, AIN, ZnS);

? 透明電學(xué)導(dǎo)體 (ZnO:Al, ITO);

? 光子晶體(ZnO, Ti02, Ta3N5);等



機(jī)架Cabinet

?框架采用進(jìn)口鋁材搭建,重量輕、承載能力強(qiáng),散熱性好

?外殼采用碳鋼烤漆及圓角處理,輕便美觀,拆卸方便,符合人體工學(xué)

?顯示屏360度自由旋轉(zhuǎn),可調(diào)視距、視角、自由懸停


控制系統(tǒng)

? 控制系統(tǒng)采用 PLC+工控機(jī)+19 寸觸摸屏方式實(shí)現(xiàn),系統(tǒng)通過高速以太網(wǎng)進(jìn)行通訊。

? 采用 PLC 對設(shè)備進(jìn)行實(shí)時控制,同時實(shí)現(xiàn)基于Windows7 操作系統(tǒng)的人機(jī)界面互動,支持歷史數(shù)據(jù)、工藝配方、報警及日志的儲存和導(dǎo)入導(dǎo)出的功能

? 設(shè)備支持“一鍵沉積”功能,點(diǎn)擊運(yùn)行按鍵即可自動完成真空抽取、升溫、材料沉積、降溫等一系列步驟。實(shí)現(xiàn)單一或多層材料的沉積;提供獨(dú)立的手動操作頁面,支持手動開關(guān)閥門的操作,人機(jī)交互同時支持鼠標(biāo)、鍵盤和觸摸的輸入方式

? 設(shè)備運(yùn)行軟件提供用戶權(quán)限管理功能,可根據(jù)用戶級別設(shè)定使用權(quán)限,防止誤操作,保證設(shè)備和人身安全

? 設(shè)備運(yùn)行軟件提供邏輯互鎖功能,防止用戶誤操作,并彈出信息對話框進(jìn)行提示

? 設(shè)備運(yùn)行軟件集成安全及參數(shù)配置、IO互鎖列表信息功能

熱門產(chǎn)品
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