產(chǎn)品特點(diǎn)：
•射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；
•整套設(shè)備尺寸小巧；
•可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量；
•可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。
加熱爐參數(shù)：
•溫度：1100℃（《30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；
•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；
•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；
•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•采用TRP-12的雙旋真空泵；
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達(dá)10-2Torr。
產(chǎn)品尺寸和重量：
•尺寸：1500mm L'600mm W'1200mm H
•凈重： 75 kg
質(zhì)保：
一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
