技術(shù)參數(shù):
1 能量范圍: 100 eV ~ 5000 eV;
2 電子槍工作距離:25 mm ~ 200 mm;
3 電子束偏轉(zhuǎn)角度:±3.5° @ 5 keV;
4 電子槍束流:1nA ~ 10μA;
5 束斑尺寸:1 mm ~ 100 mm;
6 陰極材料:Y2O3;
7 計算機/遠程控制能力: 通過50針D-sub/RS-232接口;
8 反饋穩(wěn)定功能:發(fā)射電流控制;
9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍:2 µs ~ DC,重復(fù)頻率可到5 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調(diào)制范圍:20 ns ~ 100 µs;(Option)
EFG-7/EGPS-2017型電子槍產(chǎn)品介紹