低能电子枪，EGL-2022 / EGPS-2022-仪表网

公司介绍主营产品

深圳海创德科技有限公司成立于2012年，由数位理工科博士创办，团队成员均为理工科博士和硕士，具有高水平的专业水准。公司致力于半导体微加工及分析设备的销售和安装服务，产品覆盖薄膜制备，物性测量和表面分析。经营的主要产品如下：1. 磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂胶机和热板等薄膜技术相关的设备；2. 美国Kimball Physics的电子枪、离子枪、真空腔体和荧光屏等部件；美国OCI的LEED和AES等各种真空组件；美国MicroXact的真空、低温和磁场等数种探针台；3. 我们还提供上述设备的配套部件及耗材，如直流和射频电源、靶材、探针、光刻胶和ALD耗材等。我们的产品性价比高，品质精良，性能*，在欧美及中国台湾地区具有的口碑，国内众多的科研院所和大学均对我们的产品报以好评。我们期待以优质的产品，良好的服务和专业的技术为更多的客户提供解决方案！期待与您的合作！

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技术参数：1电子枪能量范围：50eV~5keV

低能电子枪，EGL-2022 / EGPS-2022 产品详情

技术参数：

1 电子枪能量范围：50 eV ~ 5 keV；

2 电子枪工作距离：20 mm ~ 100 mm；

3 电子束偏转角度：±3.5° @ 5 keV；

4 电子枪束流：1nA ~ 100 µA；

5 束斑尺寸：1 mm ~ 10 mm；

6 阴极材料：Ta (真空要求1 x 10^-5 Torr)；

7 计算机/远程控制能力：通过50针D-sub/RS-232接口；

8 反馈稳定功能：发射电流控制；

9 双栅脉冲宽度调制范围：2 µs ~ DC，重复频率可到5 kHz；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：20 ns ~ 100 µs；(Option)

11 电子枪在真空中的长度为180 mm；(Option)

EGL-2022 / EGPS-2022型电子枪产品介绍

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