技術(shù)參數(shù):
1 電子槍能量范圍:5 eV ~ 1000 eV;
2 電子槍工作距離:10 mm ~ 50 mm;
3 電子束偏轉(zhuǎn)角度:±3.5° @ 5 keV;
4 電子槍束流:1nA ~ 400 µA ;
5 束斑尺寸:2 mm ~ 50 mm;
6 陰極材料:Ta/BaO/Y2O3;
7 計(jì)算機(jī)/遠(yuǎn)程控制能力:通過(guò)50針D-sub/RS-232接口;
8 反饋穩(wěn)定功能:發(fā)射電流控制;
9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍:2 µs ~ DC,重復(fù)頻率可到5 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調(diào)制范圍:20 ns ~ 100 µs;(Option)
11 法拉第杯;(Option)