品牌：PICOSUN
產(chǎn)地：芬蘭
型號：PICOSUN™ ALD P-300 Advanced
Picosun™ 300mm生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是300mm以下晶圓的自動化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備。包括PICOSUN™ P系列Pro和Advanced ALD設(shè)備。該工具可以獨立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™300真空集群系統(tǒng)以達(dá)到更高的產(chǎn)量和自動化水平。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間，所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊、高效的設(shè)計。集成的專業(yè)機(jī)柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡便的維護(hù)和最短的停機(jī)時間。PICOSUN™ P系列工具保證了產(chǎn)能以及成本的情況下得到優(yōu)秀的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。
工藝咨詢和開發(fā)，產(chǎn)能提升，維護(hù)保養(yǎng)流程和系統(tǒng)及工藝的故障排除，我們客戶化定制的PICOSUPPORT™綜合解決方案24小時快速響應(yīng)，隨時待命。在購買之前，我們的演示服務(wù)保證了設(shè)備可以99%滿足客戶的產(chǎn)線需求。
