設(shè)備：生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)TETRA 150
銷(xiāo)售：
產(chǎn)品功能：
清洗： 工藝部件的表面通過(guò)離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。如：去除有機(jī)污染物，去除納米級(jí)微粒，去除氧化層。
活化：工藝部件表面通過(guò)氧氣或空氣處理后，會(huì)在表面形成氧原子團(tuán)，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
如：PDMS鍵合，粘接前的預(yù)處理，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理。
蝕刻：工藝部件表面通過(guò)特定氣體達(dá)到精確濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn)，也使材料表面更粗糙化。通過(guò)改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。
涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應(yīng)，形成聚合物層。如：疏水層，親水層，保護(hù)/阻隔層，干潤(rùn)滑層，疏油層。
| 主要技術(shù)參數(shù) | 1． 便捷的FULL PC觸摸屏控制系統(tǒng) 2． 根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù) 3． 三路工作氣體（可通多種氣體O2、N2，Ar），氣體流量通過(guò)數(shù)字式流量計(jì)（MFC）控制 4． *反應(yīng)艙為不銹鋼制，L400xD625xH600mm ，容積為150L 5． 反應(yīng)艙門(mén)鋁制，帶有玻璃觀察窗 6． 樣品托盤(pán)：十層，W340*D580mm/層 7． 配有Pirani壓力計(jì)，實(shí)時(shí)數(shù)字顯示反應(yīng)艙的壓力值 8． 高周波電流頻率13.56MHz功率0~600W （或者0~1000W） 9． 反射波自動(dòng)調(diào)節(jié)，無(wú)須手工調(diào)節(jié) 10． 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼 11． 真空泵為L(zhǎng)eybold D65B LVO 100，排氣速度65m3/hour，配有氧氣強(qiáng)制進(jìn)氣閥 12． 配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值 13． 600mm(L)*800mm(D)*1700mm(H)(含電源線突出部分) 14． 電源電壓：三項(xiàng)AC400V 32A |
選配：
控制系統(tǒng)： PCCE全自動(dòng)控制/PC全自動(dòng)控制。
氣體：
多路氣體
腔體：
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門(mén)（約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm）矩形鋁制腔室（約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm） 托盤(pán)：石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英/水冷型
電極：
單層或多層/帶氣體噴淋裝置的 RIE 電極
壓力測(cè)量：
Pirani/電容式壓力計(jì) （適用于腐蝕性氣體版本）
發(fā)生器：
80 kHz：0- 1000 / 3000 W 13.56 MHz： 0 - 300 W/600 W/ 1000 W 2.45 GHz： 0 - 1200 W
其他：
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