*合規(guī):即也適用于復(fù)雜的基材輪廓,例如鋒利的邊緣、鉆孔或盲孔從層厚度約為 0.5 µm 時(shí)起就已經(jīng)無(wú)針孔 (“pinhole-free”)?;瘜W(xué)不可溶并且耐抗諸多化學(xué)物質(zhì)。 對(duì)濕氣和化學(xué)物質(zhì)具有非常好的阻隔特性。 具有較高的介電擊穿強(qiáng)度。 具有干潤(rùn)滑特性(較低的 摩擦系數(shù))。 具有疏水性:H2O 的接觸角介于 92 ° 和 98 ° 之間。 在可見(jiàn)波長(zhǎng)范圍內(nèi)(取決于類型)的 90% 到 96% 之間是透明的。 具有生物相容性:可以沉積 C 和 N 型聚對(duì)二甲苯,可以根據(jù) USP Class VI、 ISO 10993 和 FDA 進(jìn)行認(rèn)證。
Parylene類型:
1. 電子/傳感器技術(shù)
• 暴露在腐蝕性介質(zhì),濕度大或高輻射環(huán)境中的電子元器件。
• 安全要求較高的高質(zhì)量裝置
• 延長(zhǎng)LED,傳感器等重要電子器件的使用壽命
2. 醫(yī)療
• Parylene抵抗所有的體液的侵蝕-植入體
• 較低限度的磨損(優(yōu)于聚四氟乙烯),具有優(yōu)良的滑動(dòng)性,易于插入支架、手術(shù)針和*
• 美國(guó)FDA認(rèn)證可直接接觸食品
• 符合ISO 10993認(rèn)證,科研的生物學(xué)特性和生物相容性
3. 航空航天
• 系統(tǒng)故障可能導(dǎo)致人員物資的損失,因而,必須努力為重要的部分采取盡可能的保護(hù)
• 符合航空及軍事標(biāo)準(zhǔn)(US MIL-I-46058C, UL listed, NBC AR 70/ AFR 80-38/ Navinst 3400.2)即使在其他領(lǐng)域也能提供高應(yīng)力和安全性。
• 聚對(duì)二甲苯HT能以低漆膜厚度抵抗高能量輻射(重量體積比要求低)
4. 工業(yè)、設(shè)備
• 墊圈(o型環(huán))的涂層能便于裝配(低摩擦系數(shù)),或提高壽命
• 光學(xué)元件的保護(hù)性和自潔式涂層
• 彈性體通常對(duì)臭氧、碳?xì)浠衔铩⒆贤饩€很敏感。聚對(duì)二甲苯能提供長(zhǎng)期保護(hù)。
• 容器、藥水瓶、電子管的屏蔽涂料
主要技術(shù)參數(shù) | 1. 控制系統(tǒng): Windows Full PC控制系統(tǒng) 2.涂層厚度: 0.05 ~100 um 3.外形尺寸:W2700*D2600*1600mm: 4.裂解管功率及溫度: 4 kW / max. 850 °C 5.樣品艙:Φ700mm*H720mm 6.樣品臺(tái):Φ600mm*H660mm 7.冷卻方式:液氮 8.真空泵系統(tǒng):Leybold D60雙級(jí)油泵排氣速度63m3/h極限真空度0.5Pa |
- 選配:
涂層材料;Parylene N/Parylene C/Parylene D/Parylene F-VT4
冷卻:冷阱
耦合劑CVD