產(chǎn)品參數(shù)：

1    電子光學(xué)：

            1.1  發(fā)射源：鎢燈絲（高性能電子光學(xué)鏡筒，雙陽(yáng)極熱發(fā)射電子槍）

            1.2  固定式物鏡光闌，無(wú)需手動(dòng)調(diào)整使用方便

            1.3      加速電壓：200V – 30kV，自動(dòng)256級(jí)偏壓設(shè)計(jì)

            1.4  放大倍數(shù)：6× - 1000000×

            1.5  極靴內(nèi)有一路單獨(dú)抽真空系統(tǒng)，保證在低真空和環(huán)境模式下電子槍高真空和不受污染，延長(zhǎng)燈絲壽命

            1.6  電子束束流：可達(dá)到的值不小于2µA，并連續(xù)可調(diào)

            1.7  使用工廠預(yù)對(duì)中燈絲更換方便

2    真空系統(tǒng)

            2.1  1個(gè)250 l/s分子渦輪泵+1個(gè)機(jī)械泵

            2.2  高真空模式：＜1×10-5 Pa

            2.3  低真空模式：10 – 130 Pa

            2.4   環(huán)境真空模式：10 – 2600 Pa

            2.5   高真空模式下的換樣時(shí)間：≤150秒

            2.6   低真空及環(huán)境真空模式下的換樣時(shí)間：≤270秒

3    分辨率

            3.1  高真空模式下的分辨率

                  3.1.1    30 kV下3.0 nm (二次電子)

                  3.1.2     30 kV下3.5 nm (背散射電子)

                  3.1.3     3 kV下8.0 nm (二次電子)

           3.2  環(huán)境真空模式下的分辨率（以英文樣本公布的參數(shù)為準(zhǔn)，并作為驗(yàn)收指標(biāo)）

                  3.2.1    30 kV下3.0 nm (二次電子)

                  3.2.2     具備獨(dú)立的環(huán)境真空/超低真空模式二次電子探頭

Prisma E材料科學(xué)SEM

對(duì)于需要性能和易用性的多用戶實(shí)驗(yàn)室而言，最完整的SEM。

新型Prisma E掃描電子顯微鏡（SEM）將各種成像和分析模式與新的*自動(dòng)化相結(jié)合，為同類產(chǎn)品提供最完整的解決方案。它非常適用于需要高分辨率，樣品靈活性和易于使用的操作界面的工業(yè)研發(fā)，質(zhì)量控制和故障分析應(yīng)用。Prisma E成功獲得了極為成功的Quanta SEM。

出色的成像

多用戶實(shí)驗(yàn)室需要顯微鏡在短時(shí)間內(nèi)生成具有相關(guān)數(shù)據(jù)的高質(zhì)量圖像。Prisma E采用基于四極槍組件的強(qiáng)大成像系統(tǒng)滿足了這一需求，可在各種光束能量和真空條件下提供出色的結(jié)果。在所有這些條件下，地形圖和成像圖都提供了必要的樣本信息。通過(guò)同步采集，該信息可供隨后進(jìn)一步解釋和分析。