中圖儀器SEM掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍,制作工藝相對(duì)簡(jiǎn)單,材料成本也較低,使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高,從而降低了臺(tái)式掃描電鏡的設(shè)備采購(gòu)成本。
鎢燈絲電子槍可以在相對(duì)較低的真空度下工作,通常只需要兩級(jí)真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求,而不需要像場(chǎng)發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境,這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本,還縮短了抽真空的時(shí)間,提高了工作效率。
中圖儀器CEM3000系列SEM掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。還運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì),讓用戶在使用時(shí)不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,滿足不同樣品的觀測(cè)需求。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率,滿足用戶觀測(cè)需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時(shí)間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進(jìn)而對(duì)不同類型的樣品進(jìn)行觀測(cè)。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測(cè)器
可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
核心優(yōu)勢(shì)
1、緊湊靈活,突破空間限制
(1)臺(tái)式設(shè)計(jì),體積小巧,輕松擺放在桌面或狹小空間(如手套箱、移動(dòng)實(shí)驗(yàn)室),節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。
(2)支持快速移機(jī),一臺(tái)設(shè)備滿足多場(chǎng)景需求,助力科研效率提升。
2、高性能,納米級(jí)分辨率
(1)空間分辨率優(yōu)于4nm(SE),支持高達(dá)200,000倍放大,精準(zhǔn)捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。
(2)高襯度成像系統(tǒng),快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號(hào),滿足材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的需求。
3、抗振防磁,穩(wěn)定無懼挑戰(zhàn)
(1)特殊隔振設(shè)計(jì)(CEM3000B搭載復(fù)合抗振系統(tǒng)),消除環(huán)境振動(dòng)與電磁干擾,保障高倍成像質(zhì)量。
(2)適用于工業(yè)車間、車載實(shí)驗(yàn)室等復(fù)雜環(huán)境,穩(wěn)定可靠。
4、高效便捷,一鍵智能操作
(1)快速抽放氣技術(shù):低真空模式僅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分鐘,大幅縮短等待時(shí)間。
(2)自動(dòng)對(duì)焦、消像散、圖像增強(qiáng)功能,一鍵生成高質(zhì)量圖片,降低操作門檻。
5、靈活拓展,滿足多樣需求
(1)可選配低真空系統(tǒng)(5~100Pa),兼容導(dǎo)電/非導(dǎo)電樣品觀測(cè)。
(2)支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀,搭配顆粒統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量等定制功能,滿足多領(lǐng)域分析需求。
應(yīng)用場(chǎng)景
材料科學(xué):納米材料(如60nm銀線)、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析。
新能源:太陽能電池板缺陷檢測(cè)、涂層性能評(píng)估。
生物醫(yī)療:微流控芯片表面形貌觀測(cè)、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢:錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測(cè)。
機(jī)型選擇
CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專為振動(dòng)環(huán)境設(shè)計(jì),抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩(wěn)定。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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