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產(chǎn)品簡介在線詢價

極限真空：1E-7torr 產(chǎn)品描述：等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng) ......

等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)

PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上可達8路MFC和多樣化的氣體選擇；
均勻性：≤±3%；
預抽真空室和自動晶片裝卸門；
全自動控制；

應用領域：
等離子誘導表面改性；
等離子清洗；
等離子聚合；
SiO2, Si3N4, DLC及其它薄膜；
碳納米管(CNT)的選擇性生長。

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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自動測量圖像尺寸設備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2025-03-09	在線詢價
羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭	面議	無錫市	無錫徽科特測控技術有限公司	2025-03-10	在線詢價
激光功率測量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍光電科技有限公司	2025-03-10	在線詢價
水分活度測量儀廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2025-03-10	在線詢價
防爆油箱油位測量裝置	面議	無錫市	無錫市興洲儀器儀表有限公司	2025-02-11	在線詢價

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