技術(shù)參數(shù)
加熱系統(tǒng)
| 溫度 | 1200℃（1 hour) |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 爐膛有效尺寸 | Φ100*1650mm（管徑可選） |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | ?30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定， ‚操作界面為10”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序， ƒ可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)（時(shí)間和距離）設(shè)定為程序控制 |
| 加熱長度 | 440mm |
| 恒溫長度 | 200mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 供電電源 | 單相，220V，50Hz |
| 額定功率 | 3KW |
PE射頻電源
| 信號(hào)頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍 | 500W（功率可選） |
| 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
| 整機(jī)效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng) |
三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 100sccm，100sccm、200sccm；200sccm （可根據(jù)用戶要求定制） |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5% |
| 線性 | ±0.5～1.5% |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
| 內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
低真空機(jī)組VAU-02
| 空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
| 工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
| 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1千瓦 |
| 抽氣速率 | 10m³/h（抽速可選） |
| 極限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐壓值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1.1L |
| 進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
| 電阻真空計(jì)參數(shù)： | |
| 配用規(guī)管： | ZJ-52T電阻規(guī)， |
| 測量范圍： | 10 5 ～10 -1 Pa， |
| 測量路數(shù)： | 1路 |
| 控制范圍： | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， |
| 控制方式： | 繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載 |
| 電源： | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， |
| 功耗： | 20W |
