這是一款智能型大口徑高真空退火爐。該設(shè)備主要分為三大部分：大口徑加熱爐、分體式高真空機(jī)組、真空冷井。
1、大口徑加熱爐：
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，三個(gè)加熱溫區(qū)分別進(jìn)行單點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、恒溫區(qū)長(zhǎng)，控溫準(zhǔn)確。
2、真空冷井
真空隔層冷井，易拆、易清理可接低溫冷凝水對(duì)氣體進(jìn)行冷卻處理
3、高真空機(jī)組
集成結(jié)構(gòu)高真空機(jī)組，配進(jìn)口前級(jí)泵和分子泵，真空度高。帶1路質(zhì)量流量計(jì)可做氮?dú)馄瓶铡?/span>
| 溫度 | 1100℃ |
| 持續(xù)工作溫度 | ≤1000℃ |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 熱電偶 | K型 |
| 控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 |
| 加熱總功率 | ≤15KW |
| 加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
| 設(shè)備尺寸 | 1800*1100*1400mm（設(shè)備主體） 800*800*1500mm（高真空機(jī)組） |
| 設(shè)備重量 | 約500KG |
