JEOL掃描電子顯微鏡
經(jīng)過改進照射系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和信號處理系統(tǒng)，不僅能觀察高質(zhì)量的圖像，還能利用觸控屏和快速樣品臺進行高通量的直觀操作。
JEOL掃描電子顯微鏡經(jīng)過改進照射系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和信號處理系統(tǒng)，不僅能觀察高質(zhì)量的圖像，還能利用觸控屏和快速樣品臺進行高通量的直觀操作。
*的功能JEOL掃描電子顯微鏡
高品質(zhì)的圖像
通過改進電子光學系統(tǒng)，使圖像質(zhì)量更高，成像和分析更快。
減少了充放電現(xiàn)象
新的掃描方式能抑制非導電性樣品的荷電效應。低真空模式(LV)
低真空壓力范圍從10 Pa 至 650 Pa，拓寬了可以觀察的樣品材料的范圍。
樣品臺導航系統(tǒng)
全自動5 軸馬達驅(qū)動樣品臺提高了尋找感興趣的區(qū)域（ROI）的速度。使用導航系統(tǒng)（選配件）在彩色圖像上能迅速到達感興趣的區(qū)域。分析
在高電流模式下，束流電流可高達1 μA ( 加速電壓≥20 kV) 。
高性能的可變焦聚光鏡大限度地減少了因探針電流改變而引起的圖像和焦點漂移。
計算機控制的全對中樣品臺旋轉(zhuǎn) ，能很容易地對樣品或感興趣的區(qū)域定位。
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多功能
大型樣品室和樣品臺
能容納大型、較重的樣品，可裝載大尺寸為200 mm（φ）× 80 mm（ H）、重達2 kg 的樣品。幾何設計的分析接口
多個接口可以安裝EDS、EBSD 和WDS 等附件， EDS 和EBSD 處于同一平面，此外，還能安裝兩個相隔180 度的EDS 檢測器用于高通量的顯微分析。移動迅速的樣品臺
新開發(fā)馬達驅(qū)動樣品臺能快速地定位 ( 與其它JEOL 的產(chǎn)品相比快1.5 倍）。全自動5 軸馬達驅(qū)動樣品臺
采用了機械對中、五軸（X、 Y,、Z、T、R) 異步馬達控制的樣品臺，當觀察厚樣品或當感興趣區(qū)域(ROI) 不在傾斜軸的中心時，可利用標配的計算機控制的全對中傾斜和旋轉(zhuǎn)校正功能。
