參 數(shù)

指 標(biāo)

適合Wafer尺寸

2寸、4寸和6寸

芯片加電方式

支持同面和異面類(lèi)型的VCSEL加電

脈沖電流輸出

范圍0-30A，精度0.5%rdg±250mA，最小脈寬100ns，Duty cycle:大于等于1A電流為<0.1%, 小于1A電流為<50%

電壓測(cè)量

范圍0-40V，精度0.5%rdg±250mV

功率測(cè)試

采用積分球收光，范圍0-200W，精度0.5% FS±10mW

波長(zhǎng)范圍

400-1100 nm，其他波長(zhǎng)支持定制

輸出特性曲線

(1)LIV特性曲線  (2) 光譜曲線

LIV測(cè)試參數(shù)

Ith，V，Ir，SE，Rs，P，PCE，Wavelength，F(xiàn)WHM等

近場(chǎng)測(cè)試參數(shù)

發(fā)光孔數(shù)，暗壞點(diǎn)、一致性，另可定制M2、孔發(fā)散角、束腰測(cè)試功能

遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)試參數(shù)

發(fā)散角(1/e²，D86,D50)、DIP

光譜參數(shù)

λｐ 峰值波長(zhǎng)

可尋址功能

探針電動(dòng)滑臺(tái)控制，實(shí)現(xiàn)可尋址測(cè)試。

激光測(cè)距

激光測(cè)距用于對(duì)Chuck和晶圓進(jìn)行測(cè)高找平，精度≤1um。

測(cè)試臺(tái)溫控范圍

25～85℃，穩(wěn)定性<±1℃

設(shè)備尺寸

不含信號(hào)燈及顯示器，1250mm(深)×1100mm(寬)×1750mm(高)

氣源要求

正壓：無(wú)

負(fù)壓：≦-80KPa

電源

AC 220V/16A 50Hz